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J-GLOBAL ID：201702210995469567   整理番号：17A0452049

パラジウム表面改質SnO_2薄膜をベースにしたSAWガスセンサの水素ガス検出特性の研究【Powered by NICT】

The investigation of hydrogen gas sensing properties of SAW gas sensor based on palladium surface modified SnO₂ thin film

著者 (5件)： Yang Liu (College of Mechanical and Power Engineering, Nanjing Tech University, Nanjing 210009, PR China) ,  Yin Chenbo (College of Mechanical and Power Engineering, Nanjing Tech University, Nanjing 210009, PR China) ,  Zhang Zili (College of Mechanical and Power Engineering, Nanjing Tech University, Nanjing 210009, PR China) ,  Zhou Junjing (College of Mechanical and Power Engineering, Nanjing Tech University, Nanjing 210009, PR China) ,  Xu Haihan (College of Mechanical and Power Engineering, Nanjing Tech University, Nanjing 210009, PR China)
資料名： Materials Science in Semiconductor Processing  (Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 60  ページ： 16-28  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1055A  ISSN： 1369-8001  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法とマグネトロンスパッタリング法は遅延線表面音響波(SAW)水素ガスセンサの種類を作製するための128°YX LiNbO_3圧電基板上にSnO_2薄膜を堆積させるために用いた。SnO_2センシング膜の水素ガス検出性能を改善するために,二層構造に敏感な膜を用いた1つの純粋なSnO_2層と高度に分散したパラジウムナノ粒子層から成っていた。二層構造は明らかにSnO_2薄膜の水素ガス検出特性を向上させた。調製されたままのSnO_2感応膜の微細構造,表面形態および組成を,XRD,FESEMとXPSにより分析した。共鳴としてのSAWセンサを用いた発振器回路は,感知膜の応答を伝達する振動子の周波数シフトに設計した。一つの正確な温度制御システムを用いてSAWデバイスの温度安定性を確保した。マグネトロンスパッタリング法により蒸着したPd表面修飾SnO_2薄膜は175°Cで2000ppm~115.9kHz水素ガスの最高周波数シフトを示した。Pdナノ粒子と水素ガス検出性能の形態に及ぼす厚さの影響を研究した。Pdナノ粒子のサイズはPd膜の厚さとともに増加し,厚すぎるPd層はSnO_2膜の水素ガス検出性能を低下させるであろう。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： ゾル-ゲル法 ,  圧電気 ,  ナノ粒子 ,  マグネトロンスパッタリング ,  弾性表面波素子 ,  X線回折 ,  *ガスセンサ ,  周波数シフト ,  弾性表面波 ,  *表面改質 ,  *パラジウム
準シソーラス用語： 表面形態 ,  二重層 ,  検出能 ,  *水素ガス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 弾性表面波 ,  水素ガスセンサ ,  パラジウム表面改質 ,  SnO_2薄膜 ,  マグネトロンスパッタリング法

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (7件)： パラジウム ,  表面改質 ,  薄膜 ,  SAW ,  ガスセンサ ,  水素ガス ,  研究