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J-GLOBAL ID：201702211076633126   整理番号：17A0852304

MEMS磁性薄膜振動磁力計の最適化【Powered by NICT】

Optimization of an MEMS Magnetic Thin Film Vibrating Magnetometer

著者 (6件)： Perrier T. (ONERA, The French Aerospace Lab, Cha^tillon, France) ,  Levy R. (ONERA, The French Aerospace Lab, Cha^tillon, France) ,  Bourgeteau-Verlhac B. (ONERA, The French Aerospace Lab, Cha^tillon, France) ,  Kayser P. (ONERA, The French Aerospace Lab, Cha^tillon, France) ,  Moulin J. (Institut d’Electronique Fondamentale, Universite ́ Paris-Sud, Orsay, France) ,  Paquay S. (Open Engineering S.A., Seraing, Belgium)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 53  号： 4  ページ： ROMBUNNO.4000705.1-5  発行年： 2017年 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,解析的または数値的計算と有限要素解析により開発されたモデルは,新しい種類の振動磁力計の分解能を改善するために提示した。この特異な磁力計は高い分解能を達成するために石英共振器の高Q因子を利用してその共振周波数で水晶共振器を作動させる圧電変換使用する。磁気感知要素はニッケル-コバルトの強磁性薄膜,共振器の移動ビーム上にスパッタしたである。磁性薄膜共振器上の周期的トルクを適用し,その共振周波数をシフトさせた。トルクは印加磁場に依存し,磁場の値は,周波数シフト測定から求めることができる。本論文の目的は,感度モデル,地球センサの感度と分解能を改善するために,共振器のための最適幾何構造とその上に磁性薄膜の最良位置を確立するために将来の研究で有用なツールとなるであろうを開発し,改善することである。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 磁気 ,  *最適化 ,  Q値 ,  *MEMS ,  磁場 ,  共振周波数 ,  *磁性薄膜 ,  共振器 ,  分解能 ,  周波数シフト ,  圧電気 ,  *磁力計 ,  トルク ,  水晶発振器
準シソーラス用語： 有限要素解析 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  磁性薄膜 ,  磁力計 ,  最適化