黒鉛B-C-N原子層膜の制御されたCVD成長に向けて:B-Cデリバリー分子前駆体の重要な役割【Powered by NICT】

Wang Hao; Zhao Chong; Liu Lei; Xu Zhi; Wei Jiake; Wang Wenlong; Bai Xuedong; Wang Enge

文献

J-GLOBAL ID：201702213689360081 整理番号：17A0206060

黒鉛B-C-N原子層膜の制御されたCVD成長に向けて:B-Cデリバリー分子前駆体の重要な役割【Powered by NICT】

Towards the controlled CVD growth of graphitic B-C-N atomic layer films: The key role of B-C delivery molecular precursor

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資料名：
巻： 9 号： 5 ページ： 1221-1235 発行年： 2016年
JST資料番号： C2652A ISSN： 1998-0124 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：中国 (CHN) 言語：英語 (EN)

グラフェン状,三成分系B-C-N原子層材料は高度に調整可能な電子特性と多くの潜在的な応用を約束する。しかし,これまで,B-C-N原子層の実験的合成は,通常,純粋なC及びBNドメインのミクロ相分離した構造を得た。さらに,均一な原子配置を有する真の三元B-C-N相層を成長させることは非常に困難であることが証明されている。,最小化したCとBN相偏析とB-C-N原子層膜の化学蒸着(CVD)成長のためのbettercontrolledプロセスの設計では,トリメチルボラン(TMB),既存のB-C結合を用いたガス状有機ほう素化合物を選択し,硝化剤として役立つことをアンモニア(NH_3)ガスと反応する分子前駆体として。このユニークなB-Cデリバリー前駆体の使用は高品質及び大面積B-C-N原子層膜の成功した合成を可能にした。TMB/NH_3反応組合わせは二気体反応物の相対分圧を調節することによりB-C-N原子層の全体的な化学組成の可変性と制御の高レベルを提供することができる。電気輸送測定は,有限のエネルギーギャップは,成長したままのB-C-N原子層で開くことができ,その可同調性は本質的に相対Cに依存BN原子組成であることを示した。注意深く制御した実験に基づいて,TMB分子前駆体における既存のB-C結合は,CおよびBN相偏析問題を効果的に減少させるに重要な役割をplaidでき,したがって,真に三元B-C-N相原子層の形成を促進したことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

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著者キーワード (4件)： , , ,

炭素とその化合物 , その他の無機化合物の結晶成長

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