文献

J-GLOBAL ID：201702214206342539   整理番号：17A0449538

埋め込み多層構造による高結晶度を持つVO_2膜の低温蒸着【Powered by NICT】

Low-temperature deposition of VO₂ films with high crystalline degree by embedding multilayered structure

著者 (10件)： Sun Guangyao (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Cao Xun (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Li Xiaoyan (Materials Research Institute for Sustainable Development, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Nagoya 463-8560, Japan) ,  Bao Shanhu (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Li Ning (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Liang Mengshi (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Gloter Alexandre (Laboratoire de Physique des Solides, Universite Paris Sud, Bat 510, 91405 Orsay, France) ,  Gu Hui (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Jin Ping (State Key Laboratory of High Performance Ceramics and Superfine Microstructure, Shanghai institute of Ceramics, Chinese Academy of Sciences, Dingxi 1295, Changning, Shanghai 200050, China) ,  Jin Ping (Materials Research Institute for Sustainable Development, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Nagoya 463-8560, Japan)
資料名： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 161  ページ： 70-76  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0513C  ISSN： 0927-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： はその熱力学的相不安定性と多形構造によるSi基板またはガラス基板上に低温で単相VO_2膜の作製における長年の課題である。最近,低温で蒸着した高品質薄膜の需要は,デバイスとスマート窓への応用に押されている。VO_2/ZnOとVO_2/TiO_2/ZnOの多層膜と同様に,VO_2のサーモクロミック膜を,マグネトロンスパッタリング法で作製し,X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(A FM),UV-可視-NIR分光光度計,(走査)透過型電子顕微鏡((S)TEM)と電子エネルギー損失分光法(EELS)によって特性化した。高結晶度VO_2単結晶相を持つ膜はVO_2と基板の間のZnOとTiO_2層を埋め込むことにより,その後のアニーリングなしで300°Cのかなり低い温度で得られた。VO_2/TiO_2/ZnO膜は金属転移(SMT)性能への高い光透過率と良好な半導体を示すことを実証した。著者らのデータは,低温で高結晶度の工業生産のための有望な点を果たすことができる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *結晶度 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  多層膜 ,  焼なまし ,  *低温 ,  キャラクタリゼーション ,  マグネトロンスパッタリング ,  単結晶 ,  X線回折 ,  *多層構造 ,  透過型電子顕微鏡 ,  酸化亜鉛 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 光透過率 ,  高品質 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： 低温蒸着 ,  二酸化バナジウム ,  多層構造 ,  エピタキシャル ,  高度結晶性 ,  スマート窓

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 埋め込み ,  多層構造 ,  結晶度 ,  低温 ,  蒸着