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J-GLOBAL ID：201702214283539718   整理番号：17A0406417

長周期ファイバ回折格子を用いた銅薄膜の酸化相のモニタリング【Powered by NICT】

Monitoring of oxidation phases of copper thin films using long period fiber gratings

著者 (7件)： Coelho L. (CAP/INESC TEC - Technology and Science and FCUP - Faculty of Sciences, University of Porto, Porto, Portugal) ,  Moreira J. Agostinho (IFIMUP and IN-Institute of Nanoscience and Nanotechnology, Physics and Astronomy Department of Faculty of Sciences of University of Porto, Porto, Portugal) ,  Tavares P.B. (Centro de Quimica-Vila Real, Department of Chemistry, ECVA, University of Tras-os-Montes e Alto Douro, 5001-801 Vila Real, Portugal) ,  Santos J.L. (CAP/INESC TEC - Technology and Science and FCUP - Faculty of Sciences, University of Porto, Porto, Portugal) ,  Viegas D. (INL - International Iberian Nanotechnology Laboratory, Braga, Portugal) ,  de Almeida J.M.M.M. (CAP/INESC TEC - Technology and Science and FCUP - Faculty of Sciences, University of Porto, Porto, Portugal) ,  de Almeida J.M.M.M. (Department of Physics, University of Tras-os-Montes e Alto Douro, 5001-801 Vila Real, Portugal)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 253  ページ： 69-74  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ~680°Cまでの空気雰囲気中でアニールしたとき長周期ファイバ格子(LPFG)を用いて銅(Cu)薄膜の特性を監視した。Cu薄膜で被覆すると,波長とLPFGの共鳴バンドの光パワーシフトは,アニーリング温度の関数として測定し,裸のLPFGと比較して異なる変化を示すことが分かった。石英(SiO_2)基板上に堆積したCuの薄膜をXRD,SEM/EDSとRaman分光法によるアニールし,解析し,種々の温度,第一銅(Cu_2O赤銅鉱)および第二銅(CuO黒銅鉱)酸化物で二つの異なる酸化物相の形成の特定を可能にした。LPFGの共鳴バンドの観察された特徴は,Cu酸化物の相転移と関連しており,減衰帯域の特異的特性を追跡することにより,実時間で監視したCu薄膜の酸化状態へのLPFGを使用することの可能性を示していることが分かった。添加では,Cuの二種類の異なる酸化相で被覆した上のLPFGは,1.300~1.600の範囲で屈折率センシングのための特性化,銅被覆LPFGセンシングシステムの周囲媒体の屈折率に対する感度は温度を調整することができるという結論に達した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： Raman分光法 ,  *銅 ,  屈折率 ,  酸化第二銅 ,  *薄膜 ,  周波数帯 ,  石英 ,  キャラクタリゼーション ,  銅鉱 ,  波長 ,  X線回折 ,  *酸化 ,  *長周期
準シソーラス用語： 酸化状態 ,  アニーリング温度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 長周期ファイバ回折格子 ,  光ファイバセンサ ,  薄膜 ,  光学的性質

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 長周期 ,  ファイバ回折格子 ,  銅薄膜 ,  酸化 ,  モニタリング