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J-GLOBAL ID:201702214866553803   整理番号:17A0167400

HE-NEレーザによるフィードバックの幅校正法を検討した。【JST・京大機械翻訳】

He-Ne laser feedback nano stripe width calibration method research
著者 (3件):
資料名:
巻: 46  号: 10  ページ: 1216-1219  発行年: 2016年 
JST資料番号: C2073A  ISSN: 1001-5078  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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科学技術の発展は各種のナノ測定機器の「ナノ」確定性を検定する必要がある。本論文では,MSP430F149に基づくFABRY-PEROT共振器の頻高階弱変位測定システムの縞幅のキャリブレーション法を紹介し,測定したレンズの同じ変位における高次フィードバックフィードバックと従来の弱帰還半波長縞の周波数の比を計算した。レーザ変位測定システムの光学的分解能を正確に較正した。測定結果により,システムの追跡可能光学分解能は,10.37NMであり,そして,システムの最終的分解能は,20倍の電気分割の後,0.53NMであった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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, 【Automatic Indexing@JST】
著者キーワード (5件):
分類 (4件):
分類
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干渉測定と干渉計  ,  固体レーザ  ,  非線形光学  ,  アンテナ 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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