文献

J-GLOBAL ID：201702215922579446   整理番号：17A0831454

N注入過程に及ぼすアナターゼ二酸化チタン膜(001)優先配向の影響【Powered by NICT】

The influence of anatase titanium dioxide film (001) preferred orientation on N implantation process

著者 (10件)： Liu Jindong (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Zhao Shiping (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Wang Hualin (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Cui Yunxian (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Liu Shimin (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Jiang Weiwei (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Wang Nan (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Liu Chaoqian (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Chai Weiping (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China) ,  Ding Wanyu (College of Materials Science and Engineering, Dalian Jiaotong University, Dalian 116028, China)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 197  ページ： 28-30  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なるレベル(001)優先配向のアナターゼTiO_2膜はNイオンビームを注入したおよびNをドープしたTiO_2膜が得られた。XPSの結果は,Nが全てのNドープTiO_2膜したTi-NとO-N結合として化学的に結合した約7.86±0.65at.%であることを示した。Ti N/O Nの比は(001)優先配向のないNドープTiO_2フィルムに対しては約0.81および1.56であった。緩和清浄な(001)の模式図とアナターゼTiO_2の(101)表面に基づいて,N化学結合構造とTi N/O C:N比の変化は論理的に考察した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： イオンビーム ,  *アナターゼ ,  ドーピング ,  *優先配向 ,  緩和現象 ,  化学結合
準シソーラス用語： *TiO2フィルム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： NドープしたTiO_2 ,  イオンビーム技術 ,  テクスチャ ,  XPS

分類 (2件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  光化学一般  (CB08010U)

タイトルに関連する用語 (5件)： 注入 ,  過程 ,  アナターゼ ,  酸化チタン膜 ,  優先配向