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J-GLOBAL ID：201702216840371869   整理番号：17A0754291

レーザアニーリング中の超音波振動導入によるふっ素ドープ酸化すず薄膜の性能最適化【Powered by NICT】

Performance optimization of fluorine-doped tin oxide thin films by introducing ultrasonic vibration during laser annealing

著者 (16件)： Li Bao-jia (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Li Bao-jia (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Li Huang (School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Li Huang (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Huang Li-jing (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Huang Li-jing (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Cao Hai-di (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Cao Hai-di (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Zu Wei (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Zu Wei (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Ren Nai-fei (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Ren Nai-fei (School of Mechanical Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Ding Hua (Jiangsu Provincial Key Laboratory of Center for Photon Manufacturing Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Ding Hua (School of Automobile and Traffic Engineering, Jiangsu University, Zhenjiang 212013, PR China) ,  Kong Xia (Jiangsu Tailong Reduction Box Co. Ltd., Taixing 225400, PR China) ,  Zhang Jie-lu (Jiangsu Tailong Reduction Box Co. Ltd., Taixing 225400, PR China)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 43  号： 9  ページ： 7329-7337  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 市販のフッ素ドープ酸化スズ(FTO)薄膜を超音波振動(48kHz,350W)と結合したレーザアニーリングを行った。超音波振動,レーザフルエンスとデフォーカス量の影響を系統的に調べた。レーザアニーリングはFTO層の粒成長や損傷をもたらすことができ,レーザアニーリング中の超音波振動を導入し効果的に膜の緻密度を高め,膜厚を減少させ,膜中の結晶粒を微細化できた。結果として,高いレーザフルエンスと低デフォーカス量を採用した場合,超音波振動支援レーザアニールしたFTO膜の光学的および電気的特性は,低いレーザフルエンスと高いデフォーカス量を用いて有意に改善された,わずかに悪化した。結果は0.6cm~2のレーザフルエンスとデフォーカス量2.0mmを用いた超音波振動支援レーザアニーリングで作製した膜は84.1%の平均透過率を持つ,最良の全体的な光電特性,8.9Ω/sqのシート抵抗と1.99×10~ 2Ω~ 1の性能指数を有し,同じ実験パラメータを用いて純粋なレーザアニーリングで作製した膜のそれを上回ることを示した。本研究では,FTO膜の性能を最適化するのに超音波振動支援レーザアニーリングの有効性を確認した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 結晶成長 ,  *ドーピング ,  電気的性質 ,  *レーザアニーリング ,  性能指数 ,  膜厚 ,  *酸化スズ ,  透過率 ,  *超音波振動 ,  *最適化 ,  *薄膜 ,  *フッ素 ,  シート抵抗
準シソーラス用語： デフォーカス ,  レーザフルエンス , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： フッ素ドープ酸化スズ(FTO) ,  超音波振動 ,  レーザアニーリング ,  光学的性質 ,  電気特性 ,  の性能指数

分類 (2件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザアニーリング ,  超音波振動 ,  ふっ素 ,  ドープ ,  酸化すず ,  薄膜 ,  性能最適化