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J-GLOBAL ID：201702216923907445   整理番号：17A0391861

圧力分布の下での非球面研磨除去関数【JST・京大機械翻訳】

Tool influence function in aspheric polishing under dynamic pressure distribution

著者 (4件)： Li Xuyu (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Wei Chaoyang (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Xu Wendong (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Shao Jianda (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 24  号： 12  ページ： 3061-3067  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 除去関数の対数制御ツールの研磨精度に及ぼす影響を考慮して,非球面パラメータおよび非球面パラメータに従って,最適除去関数を得る方法を,提案した。非球面上の除去関数のコアを計算することは,捨てるとディスクの間の動的圧力分布を正確に得るために,有限要素法を用いて,非球面と非球面間の圧力分布をシミュレーションし,古典的PRESTON方程式と惑星運動モデルを用いて,非球面の異なる位置での除去関数を得た。圧力分布モデルに基づき,異なる研磨位置におけるアスファルトの球面の除去関数の変化を解析した。曲率半径1000MMの球面上で除去関数検証実験を行った。結果は以下を示す。本論文の理論に基づいて得られた除去率は,実際の状況に近く,ピアは,0.977に達した。本論文で提案した方法は、加工位置を簡便に調整し、相応の圧力分布を得られ、除去関数の最適化を実現し、加工効率と精度を向上させるために実際の指導意義がある。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 動圧 ,  アスファルト ,  有限要素法 ,  *球面 ,  最適化 ,  惑星 ,  *圧力分布 ,  円板 ,  *研磨 ,  加工効率 ,  検証実験 ,  曲率半径 ,  運動モデル ,  *非球面 ,  改変 ,  *機械工作
準シソーラス用語： 除去率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： aspheric polishing ,  dynamic pressure distribution ,  curvature-changing tool influence function ,  Finite element method

分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 圧力分布 ,  非球面 ,  研磨 ,  関数