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J-GLOBAL ID:201702217184152329   整理番号:17A0357650

60NM T 形F_T & F_(MAX)は170 & 210 GHZのINALN/GAN HFETS 件である。【JST・京大機械翻訳】

60 nm T-shaped-gate InAlN/GaN HFETs with f_T & f_(max) of 170 & 210 GHz
著者 (9件):
資料名:
巻: 35  号:ページ: 641-645  発行年: 2016年 
JST資料番号: C0174C  ISSN: 1001-9014  CODEN: HHXUEZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
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高電流利得遮断周波数(F_T)と最大振動周波数(F_(MAX))を有するIN-ALN/GANヘテロ接合電界効果トランジスタ(HFETS)を,サファイア基板上に作製した。再成長N+GAN オーム接触プロセスに基づいて,デバイスのサイズを縮小し,有効距離(L_(SD))を600NMに縮小した。さらに,60NMのTを,自対准Zhaプロセスによって調製した。デバイスのサイズの縮小により、V_(GS)=1Vの場合、デバイスの最大飽和電流(I_(DS))は1に達した。89A/MM,ピーク相互コンダクタンスは462MS/MMに達した。小信号試験結果により,F_TおよびF_(MAX)は,それぞれ170GHZおよび210GHZであり,そして,この周波数特性は,国/GAN HFETSの周波数の最高値であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】
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トランジスタ 
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