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J-GLOBAL ID：201702217417219691   整理番号：17A0473297

高H_2感度のための制御された微細構造と露出したファセットを有するその場蒸着したZnOベースセンサ【Powered by NICT】

In-situ deposited ZnO film-based sensor with controlled microstructure and exposed facet for high H₂ sensitivity

著者 (8件)： Wu Xiaonan (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Xiong Shunshun (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Mao Zhenghao (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Gong Youjin (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Li Wei (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Liu Boyu (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Hu Sheng (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China) ,  Long Xinggui (Institute of Nuclear Physics and Chemistry, China Academy of Engineering Physics, Mianyang, Sichuan, 621900, PR China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 704  ページ： 117-123  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 制御された微細構造と露出したファセットを有するZnOベースセンサを作製する容易なその場溶液堆積法。異なる微細構造と露出したファセットを有する三種類のZnOをベースとしたセンサは堆積溶液の過飽和レベルを調整することによってKMnO_4活性電極基板上に成長させた。それらの中で,露出面積大(0001)と塔状ZnO膜をベースとするセンサは高H_2感度,その豊富な酸素空孔欠陥に起因することを示した。さらに,塔状ZnOベースセンサのための適切なアニーリング処理は,酸素空孔を増加させることが分かった。アニールした塔状ZnOセンサのH_2応答値は,アニールしていないセンサのそれよりも2倍高く,センサの安定性は,アニーリング処理後保持された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *センサ ,  *ファセット ,  過飽和 ,  焼なまし ,  蒸着 ,  *露光 ,  *酸化亜鉛 ,  塔状構造物 ,  *微細構造
準シソーラス用語： 酸素空格子点 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ZnOセンサ ,  その場成長 ,  Microstructure ,  酸素空格子点

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  酸化物結晶の磁性  (BM06050E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 感度 ,  微細構造 ,  蒸着 ,  ZnO