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J-GLOBAL ID：201702218213877052   整理番号：17A0407472

温度センサ用の大面積フレキシブルαMoO_3マイクロシート整列アレイの容易なその場成長【Powered by NICT】

A facile in-situ growth of large area flexible α-MoO₃ microsheets aligned arrays for temperature sensor

著者 (7件)： Pan Hong (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Jin Long (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Su Hai (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Zhang Binbin (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Zhang Lei (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Zhang Haitao (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China) ,  Yang Weiqing (Key Laboratory of Advanced Technologies of Materials (Ministry of Education), School of Materials Science and Engineering, Southwest Jiaotong University, Chengdu 610031, China)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 695  ページ： 2965-2968  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mo箔上の大面積,柔軟で整列したαMoO_3マイクロシートアレイ(MMA)を成長させるための容易で環境に優しい,その場成長と経済的熱酸化法を報告した。表面形態,断面画像はαMoO_3マイクロシートアレイの長方形および高さの大きさは酸化温度の上昇と共に増加し,これらのアレイはMo基板に強固に付着していることを示した。整列αMoO_3マイクロシートアレイは微結晶の(100)優先配向を有していた。さらに,この種のMMAsの優れた柔軟性を示した。それに基づいて,単純な温度センサは交差指電極を開発したと高速温度センシング特性を示した,柔軟な無機半導体マイクロデバイスと同様に小さな集積デバイスの良好な可能性があることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 微結晶 ,  *アラインメント ,  高速度 ,  優先配向 ,  酸化 ,  柔軟性 ,  熱酸化 ,  半導体 ,  *モリブデン ,  *温度センサ
準シソーラス用語： マイクロデバイス ,  温度センシング ,  交差指電極 ,  表面形態 ,  *大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 酸化 ,  MoO_3 ,  Microstructure ,  Semiconductors

分類 (1件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 温度センサ ,  大面積 ,  整列 ,  アレイ ,  その場成長