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J-GLOBAL ID：201702218454024777   整理番号：17A0804856

FOURIER変換法により実現したナノ多層膜の性能を特性化した。【JST・京大機械翻訳】

Applications of the Fourier Transform to Characterize the Performances of Nanometer Multilayer Structures

著者 (8件)： Jiang Hui (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Xu Jing (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Zhu Jingtao (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Huang Qiushi (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Bai Liang (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Wang Xiaoqiang (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Wang Zhanshan (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University) ,  Chen Lingyan (Institute of Precision Optical Engineering,Department of Physics,Tongji University)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 36  号： 8  ページ： 2158-2165  発行年： 2009年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： FOURIER変換(FFT)を用いて、多層膜のX線すれすれ入射反射率測定曲線を分析し、各種調製と試験条件が多層構造パラメータの測定結果に与える影響をシミュレーションし、フーリエ変換方法の適用性と精度を検証した。解析結果により,従来の反射曲線あてはめ法と比較して,FOURIER変換法は,直観的および迅速性の利点を持ち,そして,主観的膜構造モデルを導入することなく,複雑な多層膜構造パラメータを,正確に,そして,多層膜構造特性評価のための解析方法を提供することができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 曲線あてはめ ,  X線 ,  構造パラメータ ,  すれすれ入射 ,  Fourier変換 ,  *キャラクタリゼーション ,  構造特性 ,  適応性 ,  *多層膜 ,  *多層
準シソーラス用語： 解析方法 ,  構造モデル ,  反射率測定 ,  *ナノ多層膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： thin films ,  nanometer multilayer ,  Fourier transform ,  auto-correlation function ,  curve fitting ,  interface

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (3件)： Fourier変換法 ,  ナノ多層膜 ,  特性化