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J-GLOBAL ID：201702222576434053   整理番号：17A0302648

医薬品の厚さ測定システムの水晶振動数解析と実験研究【JST・京大機械翻訳】

Analysis and experimental study of quartz crystal oscillation frequency of drug coating thickness measuring system

著者 (4件)： He Gaofa (School of Mechanical and Power Engineering,Chongqing University of Science and Technology) ,  Zhou Chuande (School of Mechanical and Power Engineering,Chongqing University of Science and Technology) ,  Ren Jianbing (School of Mechanical and Power Engineering,Chongqing University of Science and Technology) ,  Ma Xia (School of Mechanical and Power Engineering,Chongqing University of Science and Technology)
資料名： Zhongguo Ceshi  (Zhongguo Ceshi)
巻： 42  号： 5  ページ： 28-32  発行年： 2016年 
JST資料番号： C3059A  ISSN： 1674-5124  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 薬品のコーティング効果とコーティング品質を向上させるため、コーティング厚さのオンラインモニタリング問題に対して、石英結晶共振原理に基づくコーティング厚さ測定方法を提案した。石英結晶の圧電効果の原理を利用して、石英結晶のXie振片厚さのせん断振動の共振周波数とコーティング厚さの間の関数関係を分析し、等価法を用いて有限要素モデルを構築し、異なる厚さでの水晶共振器のモードと共振周波数を分析した。理論と有限要素解析の結果は,ウエハの共振周波数が膜厚さの増加とともに減少し,近似的線形関係を示し,検出感度は約12KHZ/ΜMであることを示した。石英結晶微量天秤システムを用いて,コーティング厚さの測定実験を行い,測定した厚さと分析結果は良く一致した。結果は,石英結晶共振に基づく膜厚測定法が,コーティングの厚さのリアルタイム測定に適用できることを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 水晶発振器 ,  石英 ,  *厚み測定 ,  線形性 ,  被覆 ,  結晶 ,  *周波数解析 ,  共振周波数 ,  膜厚 ,  共振
準シソーラス用語： 水晶微量天秤 ,  有限要素解析 ,  剪断振動 ,  圧電効果 ,  *水晶 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： quartz crystal oscillation ,  film thickness ,  coating ,  finite element method

分類 (3件)： 発振回路  (NC05020Y) ,  共振器  (NC04050Y) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 医薬品 ,  厚さ測定 ,  水晶 ,  振動数解析 ,  実験 ,  研究