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J-GLOBAL ID：201702222791937595   整理番号：17A0364870

超音波スプレー法で作製したZnO膜中のAlの役割【Powered by NICT】

On the role of Al in ultrasonically sprayed ZnO films

著者 (5件)： Kurtaran S. (Eskisehir Osmangazi University, Department of Physics, 26480, Eskisehir, Turkey) ,  Aldag S. (Eskisehir Osmangazi University, Department of Physics, 26480, Eskisehir, Turkey) ,  Ofofoglu G. (Eskisehir Osmangazi University, Department of Physics, 26480, Eskisehir, Turkey) ,  Akyuz I. (Eskisehir Osmangazi University, Department of Physics, 26480, Eskisehir, Turkey) ,  Atay F. (Eskisehir Osmangazi University, Department of Physics, 26480, Eskisehir, Turkey)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 185  ページ： 137-142  発行年： 2017年 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,Al取り込まれたZnO膜は超音波スプレー熱分解法により堆積した。構造中のAl元素の挙動は,構造的,光学的,表面及び電気特性を調べることにより明らかにすることを試みた。組成解析をEDXで実施し,被覆中のAl含有率は1.1%,2.8%および3.1at%として決定した。X線回折パターンは,全ての膜が六方晶ウルツ鉱型構造の多結晶で,主要ピークはAlの最高量を含有した1つを除いて膜の(002)ZnOであることを示した。2.8at%のAl含有量を超えると,XRDパターンにおけるAl_2O_3とZnAl_2O_4のような新しい相の出現は,このドーピング速度で溶解度限界を指摘する。厚さと光学定数(屈折率及び消衰係数)をCauchy-Urbachモデルを用いて分光偏光解析法により決定した。溶解度限界以上のAlドーピングは,より低い屈折率を有するZnO膜をもたらした。また,A FM像は,膜の表面形態はそれらの球状と顆粒状の食感を失い,溶解度限界以上の鋭い上端を持つランダムクラスター形成に変化したことを示した。透過率と電気抵抗率測定は,溶解限度(1.1および2.8at%)以下のAl取込みは低い抵抗率値と共に透明性を維持できることを示した。これらの膜はで動作するように値を有し,オプトエレクトロニクス応用のための有望な材料である可能性がある。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線回折 ,  溶解度 ,  六方晶系 ,  *酸化亜鉛 ,  クラスタ形成 ,  光学定数 ,  *アルミニウム ,  透過率 ,  屈折率 ,  *超音波 ,  オプトエレクトロニクス ,  多結晶 ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： 透明性 ,  表面形態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 薄膜 ,  表面特性 ,  光学的性質 ,  電気伝導率 ,  EDS

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 超音波 ,  スプレー法 ,  作製 ,  ZnO ,  Al ,  役割