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J-GLOBAL ID：201702222887481468   整理番号：17A0766131

窒化物MOCVD反応器における電磁加熱の解析と有限要素シミュレーション【Powered by NICT】

Analysis and finite element simulation of electromagnetic heating in the nitride MOCVD reactor

著者 (5件)： Li Zhi-Ming (School of Microelectronics, Xidian University) ,  Hao Yue (School of Microelectronics, Xidian University) ,  Zhang Jin-Cheng (School of Microelectronics, Xidian University) ,  Xu Sheng-Rui (School of Microelectronics, Xidian University) ,  Ni JinYu (School of Microelectronics, Xidian University)
資料名： Chinese Physics B  (Chinese Physics B)
巻： 18  号： 11  ページ： 5072-5077  発行年： 2009年11月 
JST資料番号： W1539A  ISSN： 1674-1056  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直有機金属化学蒸着(MOCVD)反応器における電磁界分布を有限要素法(FEM)を用いてシミュレートした。交流周波数,強度,コイル巻数及びコイル間の距離Joule熱の分布に対する変化の影響を別々に解析し,Joule熱の値との関係についても検討した。suseeptor上の温度分布も得られた。シミュレーションの結果は,以前の測定と良く一致していることが観察された。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 周波数 ,  *窒化物 ,  *計算機シミュレーション ,  *MOCVD ,  数値解析 ,  有限要素法 ,  温度分布 ,  *反応器 ,  交流
準シソーラス用語： *有限要素 ,  Joule熱 ,  電磁界分布 ,  *有限要素シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： MOCVD ,  有限要素 ,  電磁加熱 ,  Joule熱

分類 (1件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒化物 ,  MOCVD ,  反応器 ,  解析 ,  有限要素シミュレーション