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J-GLOBAL ID：201702223842044844   整理番号：17A0472763

トリフルオロ酢酸を用いた有機金属堆積による高品質均一YBCO膜の成長【Powered by NICT】

High quality uniform YBCO film growth by the metalorganic deposition using trifluoroacetates

著者 (6件)： Wang S.S. (Key Laboratory of Micro-nano Measurement, Manipulation and Physics (Beihang University), Ministry of Education, Beijing 100191, China) ,  Wang S.S. (Beijing Dingchen Superconducting Technology Co., Ltd., Beijing 100084, China) ,  Zhang Z.L. (Key Laboratory of Micro-nano Measurement, Manipulation and Physics (Beihang University), Ministry of Education, Beijing 100191, China) ,  Wang L. (Applied superconductivity research center, Department of Physics, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Gao L.K. (Beijing Dingchen Superconducting Technology Co., Ltd., Beijing 100084, China) ,  Liu J. (Beijing Dingchen Superconducting Technology Co., Ltd., Beijing 100084, China)
資料名： Physica C. Superconductivity and Its Applications  (Physica C. Superconductivity and Its Applications)
巻： 534  ページ： 68-72  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0580A  ISSN： 0921-4534  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ波通信および/または電力応用のための高い臨界電流密度を有する大面積超伝導YBa_2Cu_3O_7x(YBCO)膜のための必要性が存在する。トリフルオロ酢酸有機金属(TFA MOD)法は,YBCO膜の大規模生産のための有望な低コスト技術であり,高真空装置を必要とせず,種々の形状とサイズの基板に容易に適用可能である。本論文では,最大2の直径を有する両面YBCO薄膜を,TFA-MOD法によるLaAlO_3基板上に作製した。誘導臨界電流密度J_c,マイクロ波表面抵抗R_sだけでなく,微細構造を特性化した。新たに自家製炉システムは,エピタキシャル成長させたYBCO膜,ガス供給と温度分布の適切な設計によるYBCO膜の均一性を著しく改善するために使用した。結果大面積YBCO膜は,77Kで0.3mΩ以下の微細構造と厚さ分布,均一に分布した6MA/cm~2を超える平均誘導J_c,低R_s(10GHz)が非常に均一であることを示したが得られた。Andthe膜フィルタは74K以下の温度で作動する調製できる可能性がある。これらの結果は,従来の真空法で作製したYBCO膜の最高の値に非常に近いので,著者らは,低コストで高品質の大面積YBCO超伝導薄膜の大規模生産のための非常に有望なルートを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 温度分布 ,  *YBCO薄膜 ,  表面抵抗 ,  臨界電流密度 ,  微細構造 ,  超伝導 ,  *イットリウムバリウム銅酸化物 ,  マイクロ波通信 ,  キャラクタリゼーション ,  超伝導薄膜 ,  マイクロ波 ,  脂肪族カルボン酸 ,  脂肪族フッ素化合物
準シソーラス用語： TFA-MOD法 ,  大面積 ,  *高品質 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： YBa_2Cu_3O_7x膜 ,  トリフルオロ酢酸有機金属 ,  マイクロ波表面抵抗 ,  臨界電流密度

分類 (2件)： 酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： トリフルオロ酢酸

タイトルに関連する用語 (6件)： トリフルオロ酢酸 ,  有機金属 ,  堆積 ,  高品質 ,  YBCO膜 ,  成長