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J-GLOBAL ID：201702223899811319   整理番号：17A0098060

小型化硅微型加速度計の実現と性能試験【JST・京大機械翻訳】

Implementation and measurement of a miniaturized silicon resonant accelerometer

著者 (6件)： Zhao Jian (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Sci.&Tech) ,  Shi Qin (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Sci.&Tech) ,  Xia Guoming (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Sci.&Tech) ,  Qiu Anping (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Sci.&Tech) ,  Wu Zhiqiang (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Sci.&Tech) ,  Su Yan (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Sci.&Tech)
資料名： Guangxue Jingmi Gongcheng  (Guangxue Jingmi Gongcheng)
巻： 24  号： 8  ページ： 1927-1933  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2090A  ISSN： 1004-924X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 対象電気機械システムと専用集積回路からなる小型化共鳴加速度計を設計した。この加速度計は80ΜM厚さのSOIプロセスを用いてマイクロ電気機械システム(MEMS)構造を加工し、真空包装技術を採用して構造雑音を低減した。まず第一に,発振信号を自動利得制御回路におけるチョッパの制御信号として採用し,それにより,フリッカ雑音を低減し,追加電力を導入しない。次に,従来の吉Er伯特ユニットを線形により動作させ,システム全体の供給電圧を大幅に低減することにより電力消費を低減した。最後に,リセットカウンタを用いて周波数デジタル変換を行い,関心のある帯域内で量子化雑音を抑制する。実験は以下を示す。加速度計は±30Gの線形範囲に達し,2.5ΜG/√HZの分解能と1ΜGの零偏不安定性を達成した。さらに,回路自体の発熱に起因する温度ドリフトを低減するために,このプロトタイプの消費電力は3.5MW以内に制御され,システムのサイズは約45MM×30MM×20MMであった。上述の技術に基づき,システムは体積,電力消費,および性能において大いに改善される。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 消費電力 ,  ディジタル方式 ,  *加速度計 ,  周波数帯 ,  1/f雑音 ,  電力消費 ,  AGC回路 ,  *性能試験 ,  量子化雑音 ,  電力 ,  MEMS ,  プロトタイプ ,  分解能 ,  線形性 ,  *小型化

著者キーワード (6件)： Silicon Resonant Accelerometer(SRA) ,  Application Specified Integrated Circuit(ASIC) ,  SOI process ,  vacuum packaging ,  miniaturization ,  low power

分類 (4件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  増幅回路  (NC05040U) ,  雑音一般  (ND04010J)

タイトルに関連する用語 (2件)： 加速度計 ,  性能試験