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J-GLOBAL ID：201702224213508194   整理番号：17A0513717

Ni_1-uPt_u(0<u<0.15)ケイ化ゲルマニウムの熱安定性

Thermal stability of Ni_1-uPt_u (0 < u < 0.15) germanosilicide

著者 (4件)： Bourjot E. (STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles Cedex, France) ,  Gregoire M. (STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles Cedex, France) ,  Nemouchi F. (CEA, LETI, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France) ,  Mangelinck D. (IM2NP, CNRS, Aix Marseille Universite, Service 142, Faculte de saint Jerome, 13397 Marseille, France)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 121  号： 13  ページ： 135302-135302-15  発行年： 2017年04月07日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *ケイ化物 ,  *ゲルマニウム化合物 ,  *熱安定性 ,  *固相反応 ,  シート抵抗 ,  走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  トモグラフィー ,  *ニッケル合金 ,  溶出 ,  凝固 ,  薄膜 ,  劣化 ,  相安定性 ,  RTA【熱処理】 ,  モルフォロジー ,  白金含有合金 ,  拡散
準シソーラス用語： *ケイ化ゲルマニウム ,  原子プローブトモグラフィー

分類 (2件)： 多成分系の相平衡・状態図一般  (CB03014B) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U)

タイトルに関連する用語 (2件)： ケイ化ゲルマニウム ,  熱安定性