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J-GLOBAL ID：201702224862037448   整理番号：17A0381654

動的はサブHz周波数対称性と温度ロバスト性調和型縮退モードジャイロ【Powered by NICT】

Dynamicaly balanced degenerate mode gyro with sub-hz frequency symmetry and temperature robustness

著者 (6件)： Giner J. (Hitachi. Ltd, R&D Group, Kokubunji, Japan) ,  Zhang Y. (Hitachi. Ltd, R&D Group, Kokubunji, Japan) ,  Maeda D. (Hitachi. Ltd, R&D Group, Kokubunji, Japan) ,  Ono K. (Hitachi. Ltd, R&D Group, Kokubunji, Japan) ,  Shkel A.M. (Microsystems Laboratory, University of California, Irvine, USA) ,  Sekiguchi T. (Hitachi. Ltd, R&D Group, Kokubunji, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 1103-1106  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 設計し,作製し,濃縮懸濁液アーキテクチャを利用した動的平衡z軸MEMS振動ジャイロスコープを実験的に実証した。このアーキテクチャは高度の構造対称性(モードの縮退)のを可能にし,高精度速度ジャイロスコープ(RG)とレイト積分ジャイロスコープ(RIG)を可能にする可能性がある。設計の完全動的バランスは非拘束音叉として逆位相で振動する二個の同心質量によって可能になった,基質の任意方向面内にある。実験は190MHz(0.19Hz)アーキテクチャの目的を確認するサブHz,作製したとして,周波数分裂(Δf)を示した。対称性の高レベルは温度変化に対してロバストなジャイロを,広い温度範囲のΔfの50MHz以下の変動, 30°Cから100°Cまでを示したCopyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *縮退 ,  温度変動 ,  ジャイロスコープ ,  *周波数 ,  音叉 ,  懸濁液 ,  *対称性 ,  計算機アーキテクチャ ,  積分 ,  *ロバスト性 ,  基質 ,  MEMS
準シソーラス用語： 温度範囲 ,  逆位相 ,  高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (9件)： 堆積岩岩石学  (DE05040Q) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y) ,  触媒反応一般  (CB06080F) ,  技術の標準化・規格  (NA01050X) ,  視覚モデル  (EL02060N) ,  集積回路一般  (NC03161C) ,  共振器  (NC04050Y) ,  土圧,土の動的性質,地盤の応力と変形  (RA03060A) ,  CAD,CAM  (JE10000A)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  対称性 ,  ロバスト性 ,  調和 ,  縮退 ,  ジャイロ