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J-GLOBAL ID：201702225442963302   整理番号：17A0406696

電解を用いた需要に活性化されたマイクロ溶存酸素センサの作製と特性評価【Powered by NICT】

Fabrication and characterization of micro dissolved oxygen sensor activated on demand using electrolysis

著者 (4件)： Lee Hyun-jin (Department of Electronics and Electrical Engineering, Dankook University, Yongin 16890, South Korea) ,  Kim Hyoung-Min (Department of Electronics and Electrical Engineering, Dankook University, Yongin 16890, South Korea) ,  Park Jae-Hyoung (Department of Electronics and Electrical Engineering, Dankook University, Yongin 16890, South Korea) ,  Lee Seung-Ki (Department of Electronics and Electrical Engineering, Dankook University, Yongin 16890, South Korea)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 241  ページ： 923-930  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電解からの薄いSiO_2膜の爆発による要求において活性化できる新しい溶存酸素(DO)センサを報告した。提案したセンサは,電解のための(1)水中の酸素の濃度の測定のための三電極(作動,対向と参照電極),(2)三電極をカバーする固体電解質,(3)ポリジメチルシロキサン(PDMS)共振器,および(4)センサキャップ,パターン化電極(陰極と陽極)を持つ薄いSiO_2膜であるから構成されている。作用および対向電極はCr/Au(100Å/1000Å)を用いてパターン化した。参照電極はTi/Ag(100Å/1000Å)を用いてパターン化し,続いて塩素処理によるAg/AgClを形成した。サイクリックボルタンメトリー(CV)およびクロノアンペロメトリー測定を用いて,作製したDOセンサはセンサキャップの薄いSiO_2膜の爆発により活性化された。電圧は電解のためのセンサキャップで電極(陰極と陽極)に適用した前に提案したDOセンサは作用電極と対向電極間のCV測定により 900mVの電圧で600nAの電流を示した。電圧は電解のためのセンサキャップで電極に適用した後,提案したDOセンサはCV測定により 900mVの電圧で1.8μAの電流を示した。クロノアンペロメトリーのために,提案したDOセンサは2000sの 900mV対Ag/AgClの固定電圧を用いた電気化学的測定を行った。電解のための電圧を適用して,作用電極と対向電極間の提案したDOセンサの電流はSiO_2膜の爆発,センサキャップにより増加した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： クロノアンペロメトリー ,  *酸素 ,  *溶存酸素 ,  電圧 ,  基準電極 ,  塩素処理 ,  *センサ ,  固体電解質 ,  サイクリックボルタンメトリー ,  *キャラクタリゼーション ,  電流 ,  パターン形成 ,  *電解 ,  作用電極
準シソーラス用語： 対極 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 溶存酸素センサ ,  固体電解質 ,  Electrolysis ,  センサキャップ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電解 ,  需要 ,  活性化 ,  マイクロ ,  酸素センサ ,  作製 ,  特性評価