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J-GLOBAL ID：201702228571976507   整理番号：17A0118477

高感度および高速応答をもつ黒りん湿度センサ【Powered by NICT】

A black phosphorus humidity sensor with high sensitivity and fast response

著者 (4件)： Chen Wen-Hao (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Huang Jian-Qiu (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Zhu Chong-Yang (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China) ,  Huang Qing-An (Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, Southeast University, Nanjing, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高感度と高速応答を有する黒りん湿度センサを本論文で報告した。高感度層として薄い黒りん膜をスピンコーティングにより,交差指型構造上に堆積した膜厚さを制御することができた。試験結果によると,厚さ77nmのBP膜は3000r/分の回転速度でスピンコーティングにより開発した。高感度および高速応答は,実験で観察された,これは10~kHzの試験周波数でそれぞれ約11.8Ω/%RH及び3秒であった。センサの最大ヒステリシスは約4%RHであった。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： スピンコーティング ,  *センサ ,  膜厚 ,  ヒステリシス ,  回転数 ,  *湿度センサ ,  周波数 ,  *高感度
準シソーラス用語： *高速応答 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高感度 ,  高速応答 ,  黒りん ,  湿度センサ