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J-GLOBAL ID：201702228772234197   整理番号：17A0118610

高Q piezotransduced単結晶シリコンバルク音響共振器アレイによる揮発性有機化合物の検出【Powered by NICT】

Detection of volatile organic compunds by high-Q piezotransduced single-crystal silicon bulk acoustic resonator arrays

著者 (7件)： Zhao Yuan (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Yang Qingrui (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Chang Ye (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Zhang Rui (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Tao Jin (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Qu Hemi (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China) ,  Duan Xuexin (State Key Laboratory of Precision Measuring Technology & Instruments, College of Precision Instruments and Optoelectronics Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 三高Q piezotransduced単結晶シリコンバルク音響共振器(PSBARs)から構成され,種々の自己集合単分子層(SAM)で官能化した揮発性有機化合物(VOCs)検出のための新規電子鼻(e-nose)システムを実証した。VOCsへのPSBARsの異なる感受性を用いて,IPA,エタノール,ヘキサンおよびヘプタン検出のためのユニークな同定符号を構成し,異なるVOCsの識別を実現することに成功した。に加えて,50ppmの低濃度エタノール蒸気はSAM修飾PSBARによって測定することに成功した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *揮発性有機化合物 ,  感受性 ,  官能化 ,  *音響共振器 ,  アルカン ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： 低濃度 ,  電子鼻 ,  自己集合単分子膜 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

物質索引 (3件)： ヘプタン ,  ヘキサン ,  エタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： 単結晶シリコン ,  バルク ,  音響共振器 ,  アレイ ,  揮発性有機化合物