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J-GLOBAL ID：201702228864982759   整理番号：17A0257811

高精度平面サブ開口アルゴリズムの研究【JST・京大機械翻訳】

Research on High Accuracy Sub-Aperture Stitching Algorithm for Flat Optics

著者 (6件)： Zhu Penghui (Laboratory of Information Optics and Opto-Electronic Technology, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Tang Feng (Laboratory of Information Optics and Opto-Electronic Technology, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Lu Yunjun (Laboratory of Information Optics and Opto-Electronic Technology, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Wang Xiangzhao (Laboratory of Information Optics and Opto-Electronic Technology, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Guo Fudong (Laboratory of Information Optics and Opto-Electronic Technology, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Li Yong (Laboratory of Information Optics and Opto-Electronic Technology, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 43  号： 11  ページ： 1104002-1-1104002-10  発行年： 2016年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 平面サブ開口の累積誤差の理論的解析と数値シミュレーションにより,基準面の重ね合わせ領域の局所勾配差とDCバイアスが累積誤差の原因であることを示した。大開口平面光学素子のサブ開口の検出精度を向上させるために,4つの項と6番目のZERNIKEの収差を用いて,サブ開口の測定誤差を減少させるための簡単かつ効果的な方法を提案した。最後に,全を合成した。450MM×60MMの平面鏡に対して8つのサブ開口の連結検出を行い、準参照鏡の前後で、モザイク測定結果とZYGO社24インチ(600 MM)口径干渉計の測定結果の偏差ピーク値(PV)値はΛ/7からΛ/100まで減少した。フィッティング誤差は0.02Λ(PV値)であり,標准鏡の表面誤差は同じレベルであり,各サブ開口の測定結果に対する影響は無視できる。実験結果により,本方法は,累積誤差を効果的に制御することができ,そして,検出精度を改善することができた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モザイク性 ,  重合せ ,  収差 ,  アルゴリズム ,  干渉計 ,  バイアス ,  測定誤差 ,  光学素子 ,  ピーク値 ,  *開口
準シソーラス用語： 平面鏡 ,  検出精度 ,  数値シミュレーション ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： measurement ,  interferometry ,  lager-aperture flats ,  sub-aperture stitching ,  error accumulation

分類 (4件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (3件)： サブ ,  アルゴリズム ,  研究