文献

J-GLOBAL ID：201702229604994727   整理番号：17A0662092

圧電アクチュエータを用いたマイクロ位置決めステージの状態推定【Powered by NICT】

State Estimation of Micropositioning Stage With Piezoactuators

著者 (4件)： Li Haifen (Institute of Robotics and Automatic Information Systems, Tianjin Key Laboratory of Intelligent Robotics, Nankai University, Tianjin, China) ,  Tan Yonghong (College of Information, Mechanical and Electrical Engineering, Shanghai Normal University, Shanghai, China) ,  Dong Ruili (College of Information, Mechanical and Electrical Engineering, Shanghai Normal University, Shanghai, China) ,  Li Yanyan (Institute of Robotics and Automatic Information Systems, Tianjin Key Laboratory of Intelligent Robotics, Nankai University, Tianjin, China)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 64  号： 1  ページ： 563-573  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,ヒステリシスを持ついわゆるサンドイッチモデルによって記述された圧電アクチュエータを持つ微小位置決めステージの雑音抑圧のための提案した滑らかでないKalmanフィルタリング法。システムの特性によると,滑らかでない確率状態空間方程式を構築した。このモデルでは,autoswitcherは滑らかでない運転条件を適応させるために導入した。新しいKalmanフィルタの収束を考察した。,無香料Kalmanフィルタと粒子フィルタを用いた提案フィルタリング方式のシミュレーションの比較を提示した。最後に,圧電アクチュエータを用いたマイクロ位置決めステージに関する実験結果を図示した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： ヒステリシス ,  モデル ,  フィルタリング ,  雑音発生防止 ,  *位置決め ,  Kalmanフィルタ ,  *状態推定
準シソーラス用語： 粒子フィルタ ,  拡張Kalmanフィルタ ,  運転条件 ,  状態空間 ,  *圧電アクチュエータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： ロボットの運動・制御  (IC04012J) ,  システム設計・解析  (IA02030D) ,  システム同定  (IA02040O) ,  ディジタルフィルタ  (NC04022Z) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 圧電アクチュエータ ,  ステージ ,  状態推定