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J-GLOBAL ID：201702229782339813   整理番号：17A0774286

エレクトロマイグレーション加速試験モデルのパラメータ分析とその動向に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Parameter and Trend Analysis on Electromigration Acceleration Model

著者 (3件)： Chien Weiting Kary (SMIC) ,  Zhao Atman (SMIC) ,  Chang Venson (SMIC)
資料名： Bandaoti Jishu  (Bandaoti Jishu)
巻： 34  号： 11  ページ： 1110-1113  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2378A  ISSN： 1003-353X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： エレクトロマイグレーション加速試験モデルのBLACK方程式におけるパラメータの固有の物理的意味について研究し、パラメータの数値自体が電気移動の異なる失効メカニズムを代表することを指摘した。異なる技術ノードのデータに対して系統的な総括を行い、加速パラメータの技術発展に伴う変化傾向と合理範囲を提供し、加速パラメータによるプロセス中の問題に対して改良方向を提供し、テスト結果をテストするために、テスト条件とテスト構造が合理的に参考基準を提供した。エレクトロマイグレーション試験におけるWEIBULL分布の実現可能性と利点を議論し,WEIBULL分布の形状パラメータは,試験結果が合理的で有用な情報を提供するかどうかを判断した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *エレクトロマイグレーション ,  *加速試験 ,  テスト構造
準シソーラス用語： 形状パラメータ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： electromigration ,  Black equation ,  activation energy ,  log-nomad distribution ,  Weibull

分類 (2件)： 風力エネルギー  (LB03060X) ,  局地循環,気流  (DC05090N)

タイトルに関連する用語 (7件)： エレクトロマイグレーション ,  加速試験 ,  モデル ,  パラメータ ,  分析 ,  動向 ,  研究