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J-GLOBAL ID：201702230336593844   整理番号：17A0012716

システムオンチップ用の自己組織化ミリ波アンテナの作製,シミュレーション,測定

Fabrication, simulations, and measurements of self-assembled millimeter-wave antennas for system-on-chip applications

著者 (7件)： Lee Sae-Won (Simon Fraser University, Burnaby, BC, Canada) ,  Chen Ying (Simon Fraser University, Burnaby, BC, Canada) ,  Titz Diane (Universite de Nice Sophia-Antipolis Nice, Provence-Alpes-Cote d’Azur, France) ,  Ferrero Fabien (Universite de Nice Sophia-Antipolis Nice, Provence-Alpes-Cote d’Azur, France) ,  Luxey Cyril (Universite de Nice Sophia-Antipolis Nice, Provence-Alpes-Cote d’Azur, France) ,  Vaughan Rodney G. (Simon Fraser University, Burnaby, BC, Canada) ,  Parameswaran Meenakshinathan (Simon Fraser University, Burnaby, BC, Canada)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 22  号： 3  ページ： 583-592  発行年： 2016年03月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自己組織化オンチップ高効率アンテナを作製するために,マイクロ電気機械システム製造プロセスを開発した。自己組織化により低抵抗基板上で良好な放射効率を有する平面外アンテナ構造を形成した構造材料はSU-8であり,自己組織曲率はリソグラフィで定義した。この損失は,アンテナ,伝送ライン,および絶縁導電接地面を支持(および損失の多い)誘電層の上に置くことで低減した。製造プロセスはアンテナ構造を包囲する厚い金属層の堆積を含む。本論文では,自己組織化モノポールアンテナの作製プロセスと,アンテナパターン特性の数値実験と物理実験について述べた。物理測定値は59GHzで-1.29dBiの実現利得(ミスマッチ損失を含む)を示した。Copyright 2015 Springer-Verlag Berlin Heidelberg Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *超LSI ,  自己組織化 ,  *アンテナ ,  *計算機シミュレーション ,  MEMS ,  リソグラフィー ,  単極子 ,  利得
準シソーラス用語： *システムオンチップ ,  *ミリ波アンテナ ,  モノポール

分類 (1件)： アンテナ  (ND06000M)

タイトルに関連する用語 (5件)： システムオンチップ ,  自己組織化 ,  ミリ波アンテナ ,  作製 ,  シミュレーション