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J-GLOBAL ID：201702230590779057   整理番号：17A0118320

全360°測定範囲で維持された高感度を有するMEMS共振傾斜センサ【Powered by NICT】

A MEMS resonant tilt sensor with high sensitivity maintained in the whole 360° measurement range

著者 (6件)： Wang Shudong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’An Jiaotong University, Xi’An, China) ,  Ren Juan (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’An Jiaotong University, Xi’An, China) ,  Zhang Tianyi (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’An Jiaotong University, Xi’An, China) ,  Weng Yinsheng (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’An Jiaotong University, Xi’An, China) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’An Jiaotong University, Xi’An, China) ,  Wei Xueyong (State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’An Jiaotong University, Xi’An, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,全範囲で維持された高感度MEMS傾斜センサは,開ループ測定により設計し評価した。センサは,六角形プルーフマス,微小レバー力増幅器と三両端音叉(DETF)共振歪ゲージを含み,重力の変化を変換する共振周波数シフトした。センサの構造は,有限要素シミュレーションを用いて解析し,次に市販シリコン・オン・インシュレータ(SOI)MEMS鋳造プロセスにより作製した。測定した感度は0°から360°までの全範囲で少なくとも858.6Hz/90°に達することができ,これは設計概念を検証した。この予備的研究に基づいて,再設計傾斜センサの感度は,最適化後1700Hz/90°に達することが期待される。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 鋳造 ,  *センサ ,  最適化 ,  重力 ,  *MEMS ,  増幅器 ,  共振周波数 ,  *共振 ,  予備調査 ,  音叉 ,  *傾斜計 ,  再設計 ,  歪計 ,  *高感度
準シソーラス用語： 有限要素シミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 弾性力学一般  (HC02010M) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： 測定範囲 ,  高感度 ,  MEMS ,  共振 ,  傾斜センサ