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J-GLOBAL ID：201702230766564482   整理番号：17A0096685

異なる構造の多層PZT薄膜の調製と性能特性の研究【JST・京大機械翻訳】

Research on Preparation and Property of PZT Multilayered Thin Films with Different Structures

著者 (4件)： Zheng Junhua (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Lab.,North University of China, Key Lab.of Instrumentation Science &Dynamic Measurement,North University of China,Ministry of Education) ,  Tan Qiulin (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Lab.,North University of China, Key Lab.of Instrumentation Science &Dynamic Measurement,North University of China,Ministry of Education) ,  Tang Licheng (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Lab.,North University of China, Key Lab.of Instrumentation Science &Dynamic Measurement,North University of China,Ministry of Education) ,  Xiong Jijun (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Lab.,North University of China, Key Lab.of Instrumentation Science &Dynamic Measurement,North University of China,Ministry of Education)
資料名： Yadian yu Shengguang  (Yadian yu Shengguang)
巻： 38  号： 4  ページ： 655-658  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2465A  ISSN： 1004-2474  CODEN： YASHE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： チタン酸ジルコニウム(PZT,R(ZR)/R(TI)=5248)と酸(PT)の2つの前駆体を同じプロセスによって調製して,PZT/PZT/SIO_2/SI基板上にゾル-ゲル法によってそれぞれ調製した。PT/PZT-PZT/PT,PT/PZT/-/PZT/PTの3種類の異なる構造の多層PZT薄膜を作製した。電界放出走査型電子顕微鏡(FESEM)を用いて薄膜の構造を測定し、XRDにより薄膜の結晶配向を分析し、インピーダンス分析器を用いて薄膜の誘電率、誘電損失及び電圧-容量曲線を測定し、強誘電性測定システムを用いて薄膜の強誘電性を測定した。実験結果により,PT/PZT/-/PZT/PT構造の薄膜は,他の2つの構造の薄膜と比較して,高い赤外検出率,残留分極強度および小さな誘電損失を持ち,そして,それは,強い応用可能性を持った。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *薄膜 ,  残留分極 ,  ゾル-ゲル法 ,  強誘電性 ,  X線回折 ,  誘電率 ,  電界放出 ,  計測システム ,  結晶方位 ,  誘電損失 ,  走査電子顕微鏡 ,  *多層 ,  インピーダンス
準シソーラス用語： 電界放出型走査電子顕微鏡 ,  チタン酸ジルコニウム , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Multilayer PT/PZT thin films ,  different structures ,  piezoelectric materials ,  Sol-Gel method ,  dielectric properties ,  ferroelectric properties

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 多層 ,  PZT ,  薄膜 ,  調製 ,  性能特性 ,  研究