文献

J-GLOBAL ID：201702231009450286   整理番号：17A0472937

石英の異方性湿式エッチングのシミュレーションのための運動論的モンテカルロ法【Powered by NICT】

Kinetic Monte Carlo method for the simulation of anisotropic wet etching of quartz

著者 (7件)： Zhang Hui (Jiangsu Key Laboratory for Design and Manufacture of Micro-Nano Biomedical Instruments, Dept. of Mechanical Engineering, Southeast University, Nanjing, China) ,  Xing Yan (Jiangsu Key Laboratory for Design and Manufacture of Micro-Nano Biomedical Instruments, Dept. of Mechanical Engineering, Southeast University, Nanjing, China) ,  Li Yuan (Jiangsu Key Laboratory for Design and Manufacture of Micro-Nano Biomedical Instruments, Dept. of Mechanical Engineering, Southeast University, Nanjing, China) ,  Gosalvez Miguel A. (Dept. of Materials Physics, Univ. of the Basque Country UPV/EHU, 20018 Donostia-San Sebastian, Spain) ,  Gosalvez Miguel A. (Centro de Fisica de Materiales, Centro Mixto CSIC-UPV/EHU, 20018 Donostia-San Sebastian, Spain) ,  Gosalvez Miguel A. (Donostia International Physics Center (DIPC), 20018 Donostia - San Sebastian, Spain) ,  Qiu Xiaoli (Jiangsu Key Laboratory for Design and Manufacture of Micro-Nano Biomedical Instruments, Dept. of Mechanical Engineering, Southeast University, Nanjing, China)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 256  ページ： 24-34  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,湿式エッチング実験と速度論的モンテカルロシミュレーションは,マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)の製造のための水晶の異方性エッチングを記述するために組み合わせたものである。石英の特別な原子構造に基づいて,九エネルギーパラメータを用いた「石英除去確率関数を導入した。これは近傍の数の陽関数としての表面原子の除去速度を記述できる。X(電気)とY(機械的)軸に平行な九つの結晶面の実験(ファセット特異的)エッチ速度を変換九エネルギーパラメータに適した値に系統的に進化的アルゴリズム。進化的探索の計算効率を改善するために,変換行列を利用する,進化的探索空間を制約した。これは広範囲の結晶学的ファセットのエッチング速度と同様にマスクされたZカット基板上に得られた三次元エッチング形状のための成功した予測をもたらす。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 速度論 ,  三次元 ,  ファセット ,  原子構造 ,  *ウェットエッチング ,  *エッチング ,  MEMS ,  *モンテカルロ法 ,  *石英 ,  結晶面
準シソーラス用語： 進化的アルゴリズム ,  エッチング速度 ,  異方性エッチング ,  モンテカルロシミュレーション ,  *キネティックモンテカルロ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (9件)： 速度論的モンテカルロ法 ,  MEMS ,  石英 ,  Zカット ,  ウエットエッチング ,  除去確率 ,  進化的キャリブレーション ,  変換行列 ,  シミュレーション

分類 (1件)： 液体・粉体レベルの計測法・機器  (AD05060G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 石英 ,  異方性 ,  湿式エッチング ,  シミュレーション ,  運動論的モンテカルロ法