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J-GLOBAL ID：201702231871276870   整理番号：17A0364767

エタノールセンシングのための蒸着した酸化モリブデン薄膜の物理的性質に及ぼすアニーリングの効果【Powered by NICT】

Annealing effect on physical properties of evaporated molybdenum oxide thin films for ethanol sensing

著者 (6件)： Touihri S. (Unite de Physique des Dispositifs a semi-conducteurs, Faculte des sciences de Tunis, Tunis El Manar University, 2092 Tunis, Tunisia) ,  Arfaoui A. (Unite de Physique des Dispositifs a semi-conducteurs, Faculte des sciences de Tunis, Tunis El Manar University, 2092 Tunis, Tunisia) ,  Tarchouna Y. (Unite de Physique des Dispositifs a semi-conducteurs, Faculte des sciences de Tunis, Tunis El Manar University, 2092 Tunis, Tunisia) ,  Labidi A. (Laboratoire Materiaux, Molecules et Applications, IPEST, BP 51 La Marsa 2070, Tunis, Tunisia) ,  Amlouk M. (Unite de Physique des Dispositifs a semi-conducteurs, Faculte des sciences de Tunis, Tunis El Manar University, 2092 Tunis, Tunisia) ,  Bernede J.C. (LUNAM, Universite de Nantes, Moltech Anjou, CNRS, UMR 6200, FSTN, 2 Rue de la houssiniere, BP 92208, Nantes F-44322, France)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 394  ページ： 414-424  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,熱蒸発法によりガラス基板上に成長した酸化モリブデン薄膜のいくつかの物理的研究を行った。これらの膜を種々の温度673K,723K及び773Kで真空,空気および酸素下でのアニーリング処理を行った。最初に,これらの層の物理的性質をX線回折,Raman分光法,走査電子顕微鏡(SEM)と光学測定を用いて解析した。これらの技術は,熱処理中にMoO_x特性における酸素指数を調べるために用いた。第二に,反射率と透過率の光学測定から,直接バンドギャップエネルギー値は3.16から3.90eVに増加することが分かった。最後に,熱処理は酸素指数は,このようなモリブデン酸化物エタノールガスに対して著しく感受性が変化することを明らかにした。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光学的測定 ,  *薄膜 ,  透過率 ,  X線回折 ,  熱処理 ,  *焼なまし ,  Raman分光法 ,  酸素指数 ,  蒸発 ,  走査電子顕微鏡 ,  *酸化モリブデン ,  反射率
準シソーラス用語： 直接バンドギャップ ,  ガラス基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 酸化モリブデン ,  熱蒸発 ,  アニーリング ,  結晶構造 ,  光学的性質とガスセンサ

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 蒸着 ,  酸化モリブデン ,  薄膜 ,  物理的性質 ,  アニーリング