文献

J-GLOBAL ID：201702232380780191   整理番号：17A0172957

マグネトロンスパッタリングに基づくLOVE波デバイスZNOZNOの調製に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on ZnO Waveguide Layer Preparation of Love Wave Device Based on Magnetron Sputtering

著者 (6件)： Wen Changbao (Institute of Micro-nanoelectronics,School of Electronics and Control Engineering,Chang’an University) ,  Ma Yue (Institute of Micro-nanoelectronics,School of Electronics and Control Engineering,Chang’an University) ,  Jiang Yanni (Institute of Micro-nanoelectronics,School of Electronics and Control Engineering,Chang’an University) ,  Ma Qiong (Institute of Micro-nanoelectronics,School of Electronics and Control Engineering,Chang’an University) ,  Li Yanming (Institute of Micro-nanoelectronics,School of Electronics and Control Engineering,Chang’an University) ,  Ju Yongfeng (Institute of Micro-nanoelectronics,School of Electronics and Control Engineering,Chang’an University)
資料名： Yadian yu Shengguang  (Yadian yu Shengguang)
巻： 38  号： 5  ページ： 783-786  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2465A  ISSN： 1004-2474  CODEN： YASHE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ZNOをターゲットとして,高周波マグネトロンスパッタリング技術を用いて,指(IDT)を有するLINBO_3基板上に,ZNO導波路を有するLOVEを調製した。スパッタリング過程において,スパッタリング圧力は4.0×10(-4)PA,スパッタリング圧力は5.4PA,スパッタリング時間は400分,スパッタリング温度は150°Cであった。X線回折計を用いて,ZNO導波路の配向と微細構造を解析し,ZNOを導波路とするLOVEの応答特性をネットワークアナライザを用いて解析した。試験結果により,調製したZNO導波路は,(002)優先配向を持ち,そして,平均粒径は,50.99NMであり,そして,内部応力は,より小さかった。その結果,導波路の中心周波数は101.764MHZであり,挿入損は-21.2DBであり,良好な応答特性を持つことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 優先配向 ,  挿入損 ,  微細構造 ,  導波路 ,  応答特性 ,  内部応力 ,  *スパッタリング ,  ネットワークアナライザ ,  *マグネトロンスパッタリング ,  X線回折計
準シソーラス用語： 中心周波数 ,  RFマグネトロンスパッタリング , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： Love wave device ,  magnetron sputtering ,  waveguide layer ,  ZnO ,  micro-structure ,  grain size

分類 (4件)： フィルタ一般  (NC04021I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： マグネトロンスパッタリング ,  Love波 ,  調製 ,  研究