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J-GLOBAL ID：201702232695591522   整理番号：17A0445443

異なった環境における種々の層厚さ比を用いたWS-/a-C:H多層膜の微細構造とトライボロジー特性【Powered by NICT】

Microstructure and tribological properties of WS /a-C multilayer films with various layer thickness ratios in different environments

著者 (5件)： Yang Fang-er (College of materials science and engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China) ,  Lu Ye (College of materials science and engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China) ,  Zhang Rong (College of materials science and engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China) ,  Zhang Xiang-hua (Laboratoire des Verres et Ceramiques, UMR CNRS N° 6226 ISCR, Universite de Rennes 1, Campus de Beaulieu, Rennes Cedex 35042, France) ,  Zheng Xiao-hua (College of materials science and engineering, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310014, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 309  ページ： 187-194  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる層厚さ比を有するWS_/a-C多層膜と~50nmの変調周期をマグネトロンスパッタリング法により単結晶シリコン基板上に作製した。膜の形態,微細構造と組成を走査電子顕微鏡(SEM),X線回折(XRD),エネルギー分散X線分光法(EDS)およびRaman分光法を用いて特性化した。種々のエッチング条件下の表面化学状態をX線光電子分光法(XPS)深さプロファイル法で調べた。硬さ,基板との密着性および種々の試験環境下での膜のトライボロジー特性をナノインデンテーション,引かき試験機とボールオンディスク摩擦計により評価した。結果は,(101)優先配向を持つWS_2相はWS_サブ層に生成し,WC相はWS_/a-C界面で存在しないことを示した。作製したままの膜の微細構造に及ぼすLa/L_WS比の影響は無視できる程度であったが,膜の機械的特性とトライボロジー特性に及ぼす影響は有意であった。増加した硬度(~2.2GPaの最大)と減少した接着は多層膜で見られた。WS_/a-C多層膜を真空(最小5.7×10~ 15m~3N~ 1m~ 1)最良の耐摩耗性であり,種々の試験環境における単一WS_膜よりもはるかに優れたトライボロジー特性を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 深さプロフィル ,  引かき試験 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  優先配向 ,  界面化学 ,  マグネトロンスパッタリング ,  耐摩耗性 ,  密着性 ,  Raman分光法 ,  *多層膜 ,  X線光電子分光法 ,  走査電子顕微鏡 ,  摩耗 ,  ナノインデンテーション
準シソーラス用語： *トライボロジー特性 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： WS_2 ,  a-C ,  多層膜 ,  摩擦と摩耗 ,  マグネトロンスパッタリング

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 環境 ,  層 ,  厚さ比 ,  WS ,  多層膜 ,  微細構造 ,  トライボロジー特性