文献

J-GLOBAL ID：201702232726665302   整理番号：17A0756399

階層的クラスタリングによるグループ信頼性データ法【Powered by NICT】

A method to group reliability data by hierarchical clustering

著者 (2件)： Kang Sheng (Department of Quality Engineering, Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shanghai, China) ,  Chien Wei-Ting Kary (Department of Quality Engineering, Semiconductor Manufacturing International Corporation, Shanghai, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： IEEM  ページ： 345-349  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 階層的クラスタリング法であるが,半導体素子の信頼性結果の解析に有用なによる信頼性データ分類の手法を提案した。この方法の目的は,複数の次元におけるその特性に基づく一連の信頼性試験結果をグループ効果的にすることである。Wardの方法を距離定義のための使用が推奨されている。階層的クラスター化法によってグループ分けした結果によれば,解析はベースライン性能はどのデータ同定を助けることができると,残りの異常値は特別な取り扱い,プロセスツールのエクスカーションまたは検査異常などを分析することができる。例として8インチ半導体ウエハ工場における一つの技術のためのEM(エレクトロマイグレーション)の信頼性試験データの一連の4次元クラスタリング解析に基づくグループ化の有効性を示した。信頼性モニタリングはクラスタリング法を満たすために開発した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 基準線 ,  信頼性試験 ,  異常値 ,  *信頼性 ,  エレクトロマイグレーション ,  エクスカーション ,  半導体素子 ,  四次元 ,  クラスタ化
準シソーラス用語： クラスタリング法 ,  半導体ウエハ ,  病棟 ,  データ分類 ,  *階層的クラスタリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： パターン認識  (JE07000S)

タイトルに関連する用語 (2件)： 階層的クラスタリング ,  グループ