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J-GLOBAL ID：201702233864430213   整理番号：17A0402997

高度に整列したZnOナノ柱状薄膜の制御可能な成長と特性評価【Powered by NICT】

Controllable growth and characterization of highly aligned ZnO nanocolumnar thin films

著者 (9件)： Onuk Zuhal (Department of Physics, Recep Tayyip Erdogan University, Rize, 53100, Turkey) ,  Onuk Zuhal (Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, DE, 19716, USA) ,  Rujisamphan Nopporn (Nanoscience and Nanotechnology Graduate Program, Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, 10140, Bangkok, Thailand) ,  Rujisamphan Nopporn (Theoretical and Computational Science Center (TaCS), Faculty of Science, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand) ,  Murray Roy (Department of Physics and Astronomy, University of Delaware, Newark, DE, 19716, USA) ,  Bah Mohamed (Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, DE, 19716, USA) ,  Tomakin Murat (Department of Physics, Recep Tayyip Erdogan University, Rize, 53100, Turkey) ,  Shah S.Ismat (Department of Materials Science and Engineering, University of Delaware, Newark, DE, 19716, USA) ,  Shah S.Ismat (Department of Physics and Astronomy, University of Delaware, Newark, DE, 19716, USA)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 396  ページ： 1458-1465  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ構造ZnO薄膜の構造,形態,および光学的性質に及ぼすマグネトロンスパッタリング中の成長条件の影響を調べた。アンドープZnO薄膜を室温で種々のAr O_2スパッタリングガス混合物と組み合わせたZnOターゲットを用いたRFマグネトロンスパッタリングによりp型Si(100)およびコーニング7059ガラス基板上に堆積した。ZnO薄膜構造とバンド配列の形態に及ぼす酸素分圧の影響を調べた。,断面SEM顕微鏡写真から測定した試料の成長速度,厚さはスパッタリングチャンバー内の酸素分圧と強く相関することが分かった。光透過率分析の結果は,吸収端は高酸素分圧で長波長にシフトすることを示した。表面化学構造および価電子帯オフセットを決定するためのX線光電子分光法(XPS)は,伝導バンドはスパッタリング雰囲気を変えることによって制御できることを示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： X線光電子分光法 ,  成長速度 ,  スパッタリング ,  界面化学 ,  伝導バンド ,  混合気体 ,  *キャラクタリゼーション ,  価電子バンド ,  マグネトロンスパッタリング ,  *酸化亜鉛 ,  吸収端 ,  ナノ構造 ,  酸素分圧 ,  ガラス基板 ,  ZnOフィルム

著者キーワード (4件)： ナノ構造材料 ,  酸化物膜 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  バンドギャップ工学

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 整列 ,  ZnO ,  ナノ柱 ,  薄膜 ,  成長 ,  特性評価