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J-GLOBAL ID：201702233986110874   整理番号：17A0210906

(1-x)(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-xBiAlO₃鉛フリー圧電薄膜の特性に及ぼす熱処理温度の影響

Effects of Heat-Treatment Temperature on the Properties of (1-x)(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-xBiAlO₃ Lead-Free Piezoelectric Thin Films

著者 (5件)： Yao Yunqiang (Electronic Materials Research Laboratory, Key Laboratory of the Ministry of Education & International Center for Dielectric Research, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Wu Xiaoqing (Electronic Materials Research Laboratory, Key Laboratory of the Ministry of Education & International Center for Dielectric Research, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Shi Peng (Electronic Materials Research Laboratory, Key Laboratory of the Ministry of Education & International Center for Dielectric Research, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Ye Zuo-Guang (Electronic Materials Research Laboratory, Key Laboratory of the Ministry of Education & International Center for Dielectric Research, Xi’an Jiaotong University, Xi’an, 710049, China) ,  Ye Zuo-Guang (Department of Chemistry and 4D LABS, Simon Fraser University, Burnaby, BC, V5A 1S6, Canada)
資料名： Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)
巻： 99  号： 4  ページ： 1340-1344  発行年： 2016年04月 
JST資料番号： C0253A  ISSN： 0002-7820  CODEN： JACTAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法により(100)Pt/TiO₂/SiO₂/Si基板上に析出した鉛フリーチタン酸ナトリウムビスマス-アルミン酸ビスマス[0.97(Na_0.5Bi_0.5)TiO₃-0.03BiAlO₃]固溶体膜を熱分解し,異なる温度でアニール処理した。410°Cで熱分解,725°Cでアニール処理した膜は,最適な電気特性と優れた圧電特性を示し,残留分極2Prは38μC/cm²ならびにリーク電流密度は10^-7~10^-6A/cm²(E<200kV/cm)であった。100kHzにおける誘電率と散逸率の値は,それぞれ422と0.039であった。電場168kV/cmでポーリングした後の膜の圧電係数は57pm/Vであり,BNT-BA膜はバイオセンサや超音波トランスデューサなどの鉛ベースの材料に代わる鉛フリー代替物となっている。Copyright 2017 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン酸塩 ,  *ナトリウム化合物 ,  *ビスマス化合物 ,  *アルミン酸塩 ,  ゾル-ゲル法 ,  ウエハ【IC】 ,  白金 ,  酸化チタン ,  酸化ケイ素 ,  *圧電材料 ,  機能性セラミック ,  熱分解 ,  焼なまし ,  *圧電気 ,  *電気特性 ,  残留分極 ,  電流密度 ,  漏れ電流 ,  誘電率 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： BA【セラミック】 ,  BNT【セラミック】 ,  リーク電流密度 ,  圧電係数 ,  圧電特性 ,  鉛フリー圧電セラミックス ,  散逸率

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (3件)： 鉛フリー ,  圧電薄膜 ,  熱処理温度