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J-GLOBAL ID:201702235346921144   整理番号:17A0703731

インクジェット印刷と高速電子ビーム焼結はロール法における高導電性パターンの形成を可能にする【Powered by NICT】

Inkjet printing and rapid ebeam sintering enable formation of highly conductive patterns in roll to roll process
著者 (3件):
資料名:
巻:号: 25  ページ: 15463-15467  発行年: 2017年 
JST資料番号: U7055A  ISSN: 2046-2069  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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大気圧での電子ビーム焼結を初めて示し,銀ナノ粒子から構成される高導電性銀パターンの形成である。銀ナノ粒子が基板に損傷を与えず,プラスチック基板,とそれに続く高速電子ビーム照射により,インクジェット印刷した。は600kGyの線量に印刷した銀パターンを4.5μΩcmで,バルク銀のそれより2.8倍低い抵抗率を得られることが分かった。焼結効率に及ぼす電子エネルギーと侵入深さに関連した種々のパラメータの影響を評価した。この発見は,大規模なロール・ツー・ロール,ハイスループット印刷プロセスのためのプリントエレクトロニクスにおける電子ビーム技術の適用性を明らかにした。Copyright 2017 Royal Society of Chemistry All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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