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J-GLOBAL ID：201702236186528444   整理番号：17A0734863

SC_2O_3層は,532NMの高反射膜において適用した。【JST・京大機械翻訳】

Sc_2O_3 substitution layer for application in 532nm HR films

著者 (6件)： Liu Guanghui (Research and Development Center for Optical Thin Film Coatings, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences) ,  Fang Ming (Research and Development Center for Optical Thin Film Coatings, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences) ,  Jin Yunxia (Research and Development Center for Optical Thin Film Coatings, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences) ,  Zhang Weili (Research and Development Center for Optical Thin Film Coatings, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences) ,  He Hongbo (Research and Development Center for Optical Thin Film Coatings, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences) ,  Fan Zhengxiu (Research and Development Center for Optical Thin Film Coatings, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences)
資料名： Qiangjiguang yu Lizishu  (Qiangjiguang yu Lizishu)
巻： 21  号： 10  ページ： 1476-1480  発行年： 2009年 
JST資料番号： C2482A  ISSN： 1001-4322  CODEN： QYLIEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： SC_2O_3層を532NMの用(HFO_2/SIO_2)Nに導入し、SC_2O_3を用いて塩酸中で良好な溶解性という特徴を持ち、膜と基板を剥離し、修復周期を短縮し、コストを低減した。エネルギー分散スペクトルの測定によると、脱離後のSC元素の残留率は0である。LAMADA900分光光度計,WYKONT1100ラウンド,およびZYGO干渉計を用いて,用のスペクトル,表面粗さ,および応力に及ぼす替代層の影響を研究し,532NMでのレーザ損傷閾値の変化を測定した。結果は,SC_2O_3の導入が,用の性能にほとんど影響を及ぼさないことを示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エネルギー散逸 ,  干渉計 ,  スペクトル ,  表面粗さ ,  塩酸 ,  脱着 ,  溶解性 ,  *分光光度計
準シソーラス用語： レーザ損傷閾値 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： substitution layer ,  high reflector film ,  stress ,  laser induced damage threshold ,  polishing

分類 (3件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  トランジスタ  (NC03070N) ,  光デバイス一般  (BD06010L)