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J-GLOBAL ID：201702236981395921   整理番号：17A0886824

原子間力顕微鏡用の石英音叉力センサのQ値の最適化:付加質量と質量再平衡の影響【Powered by NICT】

Optimizing the Quality Factor of Quartz Tuning Fork Force Sensor for Atomic Force Microscopy: Impact of Additional Mass and Mass Rebalance

著者 (6件)： Hussain Danish (State Key Laboratory of Robotics and Systems, Harbin Institute of Technology, Harbin, China) ,  Song Jianmin (State Key Laboratory of Robotics and Systems, Harbin Institute of Technology, Harbin, China) ,  Zhang Hao (State Key Laboratory of Robotics and Systems, Harbin Institute of Technology, Harbin, China) ,  Meng Xianghe (State Key Laboratory of Robotics and Systems, Harbin Institute of Technology, Harbin, China) ,  Yongbing Wen (State Key Laboratory of Robotics and Systems, Harbin Institute of Technology, Harbin, China) ,  Xie Hui (State Key Laboratory of Robotics and Systems, Harbin Institute of Technology, Harbin, China)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 17  号： 9  ページ： 2797-2806  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(A FM)の心臓における力センサはA FM測定で重要な役割を果たす。石英音叉(QTF)に基づく力センサは自己作動及びセンシング能力,高い品質係数と高い力感受性のようなその特異な特性のために大きな注目を集めている。残念なことに,QTFの先端にチップを搭載したその品質(Q)因子と感度を低下させる。反対タイン(質量再平衡)上の等価カウンタマスのQ値を向上させることができる。Q値,励起電圧の間の固有の関係と出力のようなQTFの異なる形質に付着した質量とカウンタマスの影響だけでなく,共鳴周波数のシフトを調べた。QTF力センサのバランスを取り戻すために直接的な戦略を提案した。実験結果は反対の刃に及ぼす対質量(平行位置で)を付加することによって,先端質量を再平衡化できることを実証した。Q値は質量再平衡後著しく改善された。Q値の増加は,先端の位置(r_p)と比較して先端,対質量とカウンタマスの位置の質量に依存する。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 共振周波数 ,  *付加質量 ,  品質 ,  心臓 ,  *原子間力顕微鏡 ,  励起 ,  *Q値 ,  *石英 ,  電圧 ,  *最適化 ,  感受性 ,  *音叉
準シソーラス用語： 品質係数 ,  *力センサ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (9件)： 原子間力顕微鏡 ,  石英 ,  音叉 ,  力センサ ,  Q値 ,  最適化 ,  付加質量 ,  質量 ,  平衡