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J-GLOBAL ID:201702237146817545   整理番号:17A0370162

CuInGaSe_2薄膜作製のための電着Cu/In/Ga前駆体の3段階蒸気Se/N_2/vapor Se反応【Powered by NICT】

Three-step vapor Se/N2/vapor Se reaction of electrodeposited Cu/In/Ga precursor for preparing CuInGaSe2 thin films
著者 (13件):
資料名:
巻: 159  ページ: 352-361  発行年: 2017年 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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高品質CuInGaSe_2薄膜を調製するためのCuInGa前駆体の三段階H_2Se/Ar/H_2Se反応はそれらの組成と接着を制御するための広く使用されている。本研究では,非毒性,低コスト,固体Se源は三段階蒸気Se/N_2/vapor Se反応によるselenize電着Cu/In/Ga前駆体への毒性H_2Seガスの代わりに用いた。実験結果は,最初のセレン化段階で膜のSe含有量はGa分布に影響することを明らかにした。最初のセレン化段階における不完全なセレン化(0.74<Se/Metal<0.96)がその後のGa拡散に有利であった。不活性ガス雰囲気での第二のアニーリング段階はGa再拡散と有意な結晶粒成長を生成し,第一段階処理と比較して組成を変化させなかった。Se蒸気雰囲気における第三セレン化段階は膜のGa分布または微細構造の有意な付加的変化を起こさないが,それはまたトップ表面でのGa枯渇を引き起こす。最後に,ステンレス鋼基板上のCIGS太陽電池は,三段階反応を用いて作製し,効率=8.23%,V_OC=434mVをもつデバイスは,予備的なプロセスパラメータ最適化により作製した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】
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分類 (2件):
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太陽電池  ,  半導体薄膜 

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