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J-GLOBAL ID：201702237239824594   整理番号：17A0514095

光ファイバFabry-Perot干渉を用いたグラフェン層の非破壊in situ決定

Nondestructive and in situ determination of graphene layers using optical fiber Fabry-Perot interference

著者 (10件)： LI Cheng (Beihang Univ., Beijing, CHN) ,  LI Cheng (Univ. California, Berkeley, USA) ,  LI Cheng (Sci. and Technol. on Metrology and Calibration Lab., Beijing, CHN) ,  PENG Xiaobin (Beihang Univ., Beijing, CHN) ,  PENG Xiaobin (Sci. and Technol. on Metrology and Calibration Lab., Beijing, CHN) ,  LIU Qianwen (Beihang Univ., Beijing, CHN) ,  LIU Qianwen (Sci. and Technol. on Metrology and Calibration Lab., Beijing, CHN) ,  GAN Xin (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LV Ruitao (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  FAN Shangchun (Beihang Univ., Beijing, CHN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 28  号： 2  ページ： 025206,1-7  発行年： 2017年02月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェンは多くの分野において注目されており,その実用化は様々な応用に対して大きな影響を与えると考えられている。一般に,これらのグラフェン応用素子の特性は,素子に含まれるグラフェンシートの層数により異なる。したがって,精確で非破壊的な層数の評価法の確立が望まれる。本研究では,グラフェンを使った光ファイバFabry-Perot(F-P)干渉計構造が,層数の評価に有効であることを示した。内径125μmの孔を持つフェルールの端にグラフェンシートをvan der Waals力で接着させ,マイクロF-P共振器を作成した。Fresnelの法則と膜の複素屈折率を用いて膜厚を導いた。Raman分光と原子間力顕微鏡による結果と比較し,それらが99.95%の相関で一致することがわかった。

シソーラス用語： 光ファイバ ,  *Fabry-Perot干渉計 ,  *グラフェン ,  *非破壊検査 ,  厚み測定 ,  van der Waals力 ,  微小共振器 ,  複素屈折率 ,  Raman分光法 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 膜厚測定 ,  マイクロ共振器

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光ファイバ ,  干渉 ,  グラフェン