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J-GLOBAL ID:201702237693530748   整理番号:17A0456968

圧電マイクロポンプの特性化【Powered by NICT】

Characterization of piezoelectric micro pump
著者 (3件):
資料名:
巻: 2016  号: ICACDOT  ページ: 490-495  発行年: 2016年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)と小型化の急速な発展は1990年代のマイクロフルイディクスの新しい分野を紹介した。マイクロポンプは,ドラッグデリバリー,冷却マイクロ電子デバイス,Lab-on-a-Chipなどを含む多くの応用とマイクロフルイディクスにおけるキーデバイスの一つである。単一住宅における二圧電アクチュエータをもつ圧電マイクロポンプの実験的研究を提示した。実験のセットは,ポンピングデバイスの体積流量を決定するために,低周波数ではマイクロポンプの脈動性質,速度と流量を研究した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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流体式制御機器  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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