文献

J-GLOBAL ID：201702237897510115   整理番号：17A0363322

パリレンにおけるAlサブ波長回折格子を埋込んだ薄いプラズモンカラーシートの作製【Powered by NICT】

Fabrication of a thin plasmonic color sheet embedded with Al subwavelength gratings in parylene

著者 (8件)： Kumagai Hayato (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempakucho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Honma Hiroaki (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempakucho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Honma Hiroaki (Japan Society for the Promotion of Science, 5-3-1 Kojimachi, Chiyoda, Tokyo 102-0083, Japan) ,  Ishida Makoto (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempakucho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Ishida Makoto (Electronics Inspired-Interdisciplinary Research Institute (EIIRIS), Toyohashi University of Technology, Japan) ,  Sawada Kazuaki (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempakucho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan) ,  Sawada Kazuaki (Electronics Inspired-Interdisciplinary Research Institute (EIIRIS), Toyohashi University of Technology, Japan) ,  Takahashi Kazuhiro (Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempakucho, Toyohashi, Aichi 441-8580, Japan)
資料名： Displays  (Displays)
巻： 45  ページ： 63-69  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0042B  ISSN： 0141-9382  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,柔軟な光透過フィルタに使用するためのAlサブ波長格子を埋め込んだ薄いプラズモンカラーシート(TPCS)を開発し,その伝送特性を実験的に実証した。Alサブ波長格子は電子ビーム(EB)を用いた直接描画および犠牲エッチングにより厚さ1μm以下の自立した薄いはポリパラキシリレン(パリレンN)膜中に形成された。作製したTPCSは400nmから600nmの範囲の周期を持つAlサブ波長格子を含み,可視領域で透過ピーク波長をシフト510nmから650nmまでに成功した。室温化学蒸着により堆積した自立した薄いパリレンN膜は全フィルタ面積における900nmの高さの差異によるTPCSに十分な平坦性を提供し,均一な透過スペクトルをもたらした。格子周期に依存する実験的に得られたピークシフトは理論計算結果と良く一致した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 光透過 ,  平坦性 ,  *アルミニウム ,  透過 ,  *回折格子 ,  *波長 ,  電子ビーム ,  *サブ波長
準シソーラス用語： 透過スペクトル ,  可視領域 ,  パリレンN ,  直接描画 ,  *Parylene , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 表面プラズモン ,  異常な光透過 ,  マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS) ,  カラーフィルタ ,  パリレン-N薄膜

分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (6件)： パリレン ,  Al ,  サブ波長 ,  回折格子 ,  埋込 ,  作製