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J-GLOBAL ID：201702238894396496   整理番号：17A0400558

単一パルスレーザ誘起背面湿式エッチングの機構[招待]【Powered by NICT】

[INVITED] On the mechanisms of single-pulse laser-induced backside wet etching

著者 (8件)： Tsvetkov M.Yu. (Institute of Photon Technologies of Federal Scientific Research Center ”Crystallography and Photonics” RAS, Troitsk, Moscow 142190, Russia) ,  Yusupov V.I. (Institute of Photon Technologies of Federal Scientific Research Center ”Crystallography and Photonics” RAS, Troitsk, Moscow 142190, Russia) ,  Minaev N.V. (Institute of Photon Technologies of Federal Scientific Research Center ”Crystallography and Photonics” RAS, Troitsk, Moscow 142190, Russia) ,  Akovantseva A.A. (Institute of Photon Technologies of Federal Scientific Research Center ”Crystallography and Photonics” RAS, Troitsk, Moscow 142190, Russia) ,  Timashev P.S. (Institute of Photon Technologies of Federal Scientific Research Center ”Crystallography and Photonics” RAS, Troitsk, Moscow 142190, Russia) ,  Golant K.M. (Kotel’nikov Institute of Radioengineering and Electronics of RAS 125009, Russia) ,  Chichkov B.N. (Laser Zentrum Hannover e.V., Hollerithallee 8, Hannover 30419, Germany) ,  Bagratashvili V.N. (Institute of Photon Technologies of Federal Scientific Research Center ”Crystallography and Photonics” RAS, Troitsk, Moscow 142190, Russia)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 88  ページ： 17-23  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 強吸収水性染料溶液との界面でのけい酸塩ガラス表面のレーザ誘起背面湿式エッチング(LIBWE)を研究した。波長527nmでの単一5nsレーザパルスの作用下でのクレータ形成と発生した光音響信号のプロセスを調べた。単一パルスモードを用いたインキュベーションの効果とエッチング深さの飽和を回避する。レーザ作用(170J/cm~2以下のレーザフルエンスで)の「ソフト」モードと「ハード」モード(より高いレーザフルエンスで)におけるクレータ形成の機構における有意差が観察された。「ソフト」単一パルスモードでは,LIBWEは約数百ナノメートル,良好な形状再現性と滑らかな壁の深さと正確なクレータを生成した。単一レーザパルスで加熱された染料溶液の温度と圧力の推定値は,これらのパラメータは水に対応する臨界値を超える可能性があることを示した。水性染料溶液のレーザ加熱により生成された,超臨界水によるガラス表面(または溶融ガラス)の化学エッチングは「ソフト」モードでクレータの形成の原因となる主要な機構であることを考察した。「ハード」モードでは,生成されたクレータは不規則な形状と貧弱なパルス間再現性を有していた。レーザ露光領域の外側では,亀裂や割れが形成され,これは衝撃誘起されたガラス破壊の証拠を提供した。生成した光音響信号の振幅とスペクトルを測定することにより,レーザ作用の「硬い」モードでは,固液界面での蒸気-ガス気泡の形成とキャビテーション崩壊により誘起された強い流体力学的過程であるガラスの機械的破壊に導くと結論することができる。「ソフト」モード,超臨界流体(特に,超臨界水)中の化学エッチングに基づく処理LIBWE材料は光学材料の構造形成のための非常に有望である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 露光 ,  レーザパルス ,  *ウェットエッチング ,  界面 ,  クレータ ,  構造形成 ,  固液界面 ,  レーザ加熱 ,  音波信号 ,  気泡 ,  *レーザ ,  再現性 ,  波長
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  *レーザ誘起 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体レーザ  (BD04080W) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルス ,  レーザ誘起 ,  背面 ,  湿式エッチング