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J-GLOBAL ID：201702239430071131   整理番号：17A0166870

GAN基微腔センサによるダングリングの電気変換に関するANSYS研究【JST・京大機械翻訳】

ANSYS analysis of force-electric conversion of floating diaphragm for GaN-based micro-cavity sensors

著者 (7件)： Zhu Yanxu (Beijing Optoelectronic Technology Laboratory,Beijing University of Technology) ,  Du Zhijuan (Beijing Optoelectronic Technology Laboratory,Beijing University of Technology) ,  Liu Feifei (Beijing Optoelectronic Technology Laboratory,Beijing University of Technology) ,  Yu Ning (Beijing Optoelectronic Technology Laboratory,Beijing University of Technology) ,  Wang Yuehua (Beijing Optoelectronic Technology Laboratory,Beijing University of Technology) ,  Song Huihui (Beijing Optoelectronic Technology Laboratory,Beijing University of Technology) ,  Wang Honghang (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, Zhongshan Institute, University of Electronic Science and Technology of China)
資料名： Jiguang Jishu  (Jiguang Jishu)
巻： 40  号： 6  ページ： 791-795  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2072A  ISSN： 1001-3806  CODEN： JJISEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 窒化ガリウム薄膜の圧電効果と機械的性質を深く研究するために,ガスの直接吸収赤外放射の原理に基づいて,窒化ガリウム/アルミニウム薄膜の感度を向上させるために,材料として窒化ガリウム/アルミニウム薄膜を使用した。有限要素解析ソフトANSYS 14.0を用いて理論分析と検証を行い、薄膜の形状、厚さと面積などの寸法と圧電薄膜の出力電圧及び薄膜感度の論理関係データを取得し、力-電気信号変換機構の実行可能性を検証した。結果により,GAN薄膜は,良好な圧電特性および線形性を持ち,そして,検出器出力信号を正確に予測し,そして,温度補償を行い,そして,応用におけるGAN材料の優位性を,明らかにした。この研究は,設計性能が良く,高感度の微小共振器赤外センサの設計に有用である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度補償 ,  線形性 ,  高感度 ,  窒化ガリウム ,  赤外線 ,  *センサ ,  微小共振器 ,  信号変換 ,  薄膜 ,  赤外検出器
準シソーラス用語： 圧電特性 ,  出力電圧 ,  有限要素解析 ,  圧電効果 ,  *ANSYS , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： thin films ,  output voltage ,  ANSYS 14.0 ,  mechanical force ,  piezoelectic effect

分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (4件)： GaN ,  電気変換 ,  ANSYS ,  研究