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J-GLOBAL ID：201702239729007172   整理番号：17A0062379

異なる干渉計による光学素子のパワースペクトル密度の比較を行った。【JST・京大機械翻訳】

Comparison Among Different Interferometers for Measuring Power Spectral Density of Optical Elements

著者 (4件)： Yang Xianghui (National Laboratory on High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Shen Weixing (National Laboratory on High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Zhang Xuejie (National Laboratory on High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences) ,  Ma Xiaojun (National Laboratory on High Power Laser and Physics, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Zhongguo Jiguang  (Zhongguo Jiguang)
巻： 43  号： 9  ページ： 0904002_01-0904002_08  発行年： 2016年 
JST資料番号： C5022A  ISSN： 0258-7025  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 中間周波数誤差に対する異なる干渉計の応答法則を検討するために,実際のパワースペクトル密度(PSD)分布を得て,4D ACCUFIZ.ZYGO DYNAFIZおよびZYGO GPIの3つの干渉計を用いて,周期的波形およびスクラッチサンプルを検出した。一次元実測PSD曲線の比較分析を行った。結果により、異なる干渉計は中高周波数情報に対する応答度が異なることが分かった。干渉計の分解能が高いほど,応答度は高い。実際のPSD分布を測定するために,伝達関数(ITF)曲線を用いて,PSD分布を修正した。いくつかの周波数範囲において,キャリブレーション曲線と実際の応答の間には差異が存在した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 一次元 ,  伝達関数 ,  *光学素子 ,  周波数 ,  *パワースペクトル密度 ,  HF【周波数】 ,  検量線 ,  中間周波数 ,  分解能 ,  *干渉計
準シソーラス用語： 比較分析 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： measurement ,  power spectral density ,  interferometer ,  mid-spatial frequency wavefront error ,  instrument transform function

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 干渉計 ,  光学素子 ,  パワースペクトル密度