文献

J-GLOBAL ID：201702239946092802   整理番号：17A0445427

管状プラズマ源により生成された高密度プラズマビームを用いた純鉄のイオン窒化【Powered by NICT】

Ion nitriding of pure iron using high-density plasma beam generated by a tubular plasma source

著者 (5件)： Li S.L. (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, and School of Physics & Opto-electronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Ma C.Y. (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, and School of Physics & Opto-electronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Zhang Q.Y. (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, and School of Physics & Opto-electronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Ren C.S. (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, and School of Physics & Opto-electronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China) ,  Lu W.Q. (Key Laboratory of Materials Modification by Laser, Ion and Electron Beams, and School of Physics & Opto-electronic Technology, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 309  ページ： 47-53  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 管状プラズマ源を作動気体としてN_2+H_2混合物を用いた窒化用の高密度プラズマビームを生成するために開発した。プラズマ源はN_2含有量が92.5%から32.5%に変化したN_2~+の密度の高いN_2+H_2混合ガス中での~7.2±0.6×10~11cm~ 3のプラズマプルームを生成できることを実証した。450°Cで120分間の窒化後,~5μm厚さの化合物層が拡散ゾーンの深さ0.4mmの純鉄の試料表面上に形成された,7.5 8 0.5GPaの硬度をもたらした。添加では,純鉄の窒化は250°Cの低い温度で実現し,約2.5μmの厚さの化合物層を生成することができた。330 500°Cの温度で120分間の窒化後,高密度プラズマ流は10GPaの硬度を持つ4~5μmの化合物層を生成した。N_2~+とN~+は高密度プラズマビームによる純鉄の窒化の原因であることが示唆された。管状プラズマ源を高効率窒化用の低水素含有量のN_2+H_2混合ガスを用いることを可能にした。プラズマプルーム中のガス温度は約300°Cであり,低温窒化に適していた。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 混合気体 ,  *純鉄 ,  低温 ,  *イオン窒化 ,  硬度 ,  *プラズマ源 ,  *プラズマ ,  *窒化
準シソーラス用語： 気体温度 ,  高効率 ,  プラズマプルーム ,  *高密度プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 管状プラズマ源 ,  プラズマビーム ,  鉄窒化 ,  プラズマのOES

分類 (1件)： 表面硬化熱処理  (WC03030E)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ源 ,  高密度プラズマ ,  ビーム ,  純鉄 ,  イオン窒化