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J-GLOBAL ID：201702240321042714   整理番号：17A0302973

高精度測定の特殊SPM技術と機器【JST・京大機械翻訳】

The high precision measurements and instruments with special SPM technique

著者 (9件)： Ma Zongmin (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Wang Fang (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Qu Zhang (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Zhao Min (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Shi Yunbo (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Zhang Xiaoming (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Qin Li (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Liu Jun (Science and Technology on Electronic Test & Measurement Laboratory, North University of China,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China) ,  Li Yanjun (Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement, Ministry of Education of China, North University of China)
資料名： Zhongguo Kexue. Wulixue, Lixue, Tianwenxue  (Zhongguo Kexue. Wulixue, Lixue, Tianwenxue)
巻： 46  号： 11  ページ： 7-22  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2586A  ISSN： 1674-7275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 測定過程において、測定の正確度と測定機器の間の作用力は極めて重要であり、そのため、マイクロスケール材料の機械、電子、磁気、光及び化学特性を正確に測定する必要がある。同時に、走査型プローブ顕微鏡(SCANNING PROBE MICROSCOPE,SPM)及びその関連技術はプローブチップとサンプル間の力を確定する能力がある。本論文では、主にマイクロスケールの高精度SPM測定技術及び機器について簡単に紹介し、回顧する。原子間力顕微鏡(AFM),走査型トンネル顕微鏡(STM),およびその関連原理を紹介した。次に、常温/低温STM、スピン分極(SPIN POLARIZATION,SP)-STM、AFMなどの器具自体の肝心な技術及び構築難点を重点的に紹介し、上述の機器を用いて得られた典型的な成果を紹介した。また、国内外の極端環境(超低温、超高真空)と常温、大気環境を応用したAFM、STMの特殊領域におけるマイクロスケール測定、プローブ技術に基づくマイクロ電子デバイスの特性化と制御、及びSPM制御技術の典型的な成果の最新進展について紹介した。最後に、本研究グループは超高真空AFMを応用して磁性材料の特性化と測定における進展を紹介した。要するに、SPMの高精度測定とその応用の回顧と紹介により、SPMの重要な構成部分、重要技術及び最新発展に対して、より深い認識があり、SPMの先進性、ユーザーの友好体験及び応用指向性の特徴がある。原子/分子科学、ナノ電気機械システム(NANOELECTRO MECHANICAL SYSTEM,NEMS)などの分野で重要な応用が期待される。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 指向性 ,  *超高真空 ,  磁気 ,  キャラクタリゼーション ,  低温 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  計測器 ,  プローブ ,  原子間力顕微鏡 ,  磁性材料 ,  超低温 ,  走査型トンネル顕微鏡
準シソーラス用語： 電子素子 ,  マイクロスケール ,  *高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： scanning probe microscopy ,  precision measurements ,  micro/nano electronics ,  material characterization

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (1件)： SPM