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J-GLOBAL ID：201702240654664655   整理番号：17A0201239

PIIIにおける作動圧力とデューティサイクルの最適化関係の数値的研究【JST・京大機械翻訳】

Modeling and Numerical Calculation of Impact of Pressure and Duty-Cycle on Surface Modification by Plasma Immersion Ion Implantation

著者 (4件)： Li Yi (School of Science, Liaoning University of Technology) ,  Jing Xiaodan (School of Science, Liaoning University of Technology) ,  Li Jiuhui (School of Science, Liaoning University of Technology) ,  Lei Mingkai (Surface Engineering Laboratory,School of Materials science and Engineering, Dalian University of Technology)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 36  号： 10  ページ： 1162-1168  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： プラズマの非イオン注入におけるプラズマの拡散過程とシースの進化挙動を,低圧力非定常拡散流体モデルとシースの衝突流体モデルによって記述し,イオン注入量とエネルギーに及ぼす作動圧力とデューティサイクルの影響を数値シミュレーションによって研究した。計算結果により、仕事圧力が変わらない場合、デューティサイクルの変化に伴い、一定時間内のイオン注入量は最大値を持ち、しかも最大値に対応するデューティサイクルは仕事圧力の低下に伴い減少することが分かった。作動圧力が高い場合,デューティサイクルが小さいほどイオン衝突エネルギーが高くなる。しかし,作動圧力が低いとき,デューティサイクルが大きいほど,イオン衝突エネルギーは高くなる。同じ作動圧力の下で,イオン注入量に及ぼすデューティサイクルの影響は,イオン衝突エネルギーより顕著であった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 仕事 ,  プラズマ ,  イオン注入 ,  イオン衝突 ,  拡散過程 ,  *最適化 ,  低圧
準シソーラス用語： 数値シミュレーション ,  流体模型 ,  非定常性 ,  *デューティサイクル , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： PIII ,  Multiple pulses sheath ,  Fluid model ,  Processing pressure ,  Duty cycle

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W)

タイトルに関連する用語 (6件)： PIII ,  作動圧力 ,  デューティサイクル ,  最適化 ,  数値 ,  研究