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J-GLOBAL ID：201702241091387074   整理番号：17A0381400

面内軸磁場検出のための圧電/磁歪MEMS共振センサアレイ【Powered by NICT】

Piezoelectric/magnetostrictive MEMS resonant sensor array for in-plane multi-axis magnetic field detection

著者 (6件)： Kim Hoe Joon (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Wang Sibo (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Xu Changting (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Laughlin David (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Zhu Jingxi (Sun Yat-sen University, Guangzhou, China) ,  Piazza Gianluca (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 109-112  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,多軸磁場(H場)検出のための圧電/磁歪微小電気機械システム(MEMS)磁気共鳴センサ(PM MRS)アレイの実証を報告した。異なる面内方向(θ)に沿って振動するが,同一容易軸(EZ)を有する磁歪層(Fe_65 6Co_9 4B_25)で被覆した43MHz窒化アルミニウム(AlN)圧電共振器の配列を利用してH場とその方向の関数としてユニークな機械的/電気的応答を示し,高分解能多軸H場検出を可能にした。センサ設計は,高い品質係数(Q 1500)と電気機械結合係数(k_t~2~2%)をもつ共振器-AlN PM MRSのための報告された最高の値を得た。このセンサシステムは単一チップ多軸H場検出を可能にする低電力磁力計のための道を開くものである。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *MEMS ,  共振器 ,  高分解能 ,  *共振 ,  *センサ ,  *圧電気 ,  *センサアレイ ,  磁力計 ,  窒化アルミニウム ,  *磁歪 ,  多軸
準シソーラス用語： センサシステム ,  電気機械結合係数 ,  品質係数 ,  圧電共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 内軸 ,  磁場 ,  圧電 ,  磁歪 ,  MEMS ,  共振 ,  センサアレイ